CDA设计参考.docVIP

1.0 系统简介 tc”1.0 系統簡介” \ l 1 1.1 系统用途tc1.1 系統用途 \ l 1 CDA系统主要用于芯片经水清洗后之吹干用、制程设备驱动器动力用、…..等其它用途。 1.2 主要设备 tc1.2 主要設備 \ l 1 ? 空气压缩机 ? 空气储槽 ? 过滤器 ? 干燥机 1.3 控制方式 tc1.3 控制方式 \ 1 1 ? 单机设定控制 ? 另设控制盘设计联动控制 2.0 设计准则 tc2.0 設計準則\ l 1 2.1 管内最大流速10 m/s 2.2 于标准状态下，管路磨擦损失每100 m不大于0.2 Kg/cm2。 2.3 空气过滤标准为制程线径等级之1/10。 3.0 设计步骤及注意事项 tc3.0 設計步驟及注意事項 \ l 1 3.1 空气压缩机筛选 A. 依业主提供之设备CDA耗量及使用点之需求压力，选用合适之空气压缩机。 B. 空气压缩机依压缩段数可分为单段压缩、双段压缩及多段压缩。 a. 压力≦ 7 Kg/cm2 (g)时使用单段压缩。 b. 压力≧ 7 Kg/cm2 (g)时使用双段压缩。 C. 空气压缩机依种类可分为往复式、螺旋式、离心式。高科技厂房以螺旋式较常用。 D. 空气压缩机依冷却方式分为气冷式及水冷式 a. 气冷式用于小容量 b. 一般以水冷式较常用 c. 采用水冷式空气压缩机时，不要忽略冷却水之量，须告知空调设计人员。 d. 冷却水来源有冰水、冷却水或其它。唯使用低温之冰水时，须注意空气压缩机可能结露。 E. 空气压缩机依润滑方式可分无油式及微油式，依业主需求选用。 3.2 缓冲槽筛选 A. 缓冲槽之容量最少须1/10 CDA需求量之容积。 B. 缓冲槽材质 a. 不锈钢 b. 镀锌钢内覆Epoxy c. 需有袪水器 3.3 过滤器筛选 A. 前置过滤器(Pre-filter) a. 处理量约CDA需求量之1.3～1.4倍。 b. Particle滤除可为5μm，1μm c. 需有袪水器 d. 需有差压器 B. 后段过滤器(After-filter) a. 处理量约CDA需求量之1.1～1.2倍。 b. Particle滤除为0.01μm c. 需有差压器 3.4 干燥机筛选 A. 干燥机之形式分为冷冻式干燥机及吸附式干燥机。 B. 一般而言压力露点概分为三级： a. +3oC b. -40 oC c. -70 oC C. 依压力露点之要求，选用干燥机 a. 压力露点+2 oC，可用冷冻式干燥机， b. 压力露点-40 oC，可用吸附式干燥机或冷冻式及吸附式两者并用。 c. 压力露点-70 oC，可用吸附式干燥机或冷冻式及吸附式两者并用。 D. 干燥机处理量约CDA需求量之1.3～1.4倍。 E. 吸附式干燥机后之过滤器处理量约CDA需求量之1.1～1.2倍。 F. 吸附式干燥机为2个处理单元为一组，1个处理单元吸附水分，另一个处理单元则再生，再生需求风量约15%。 3.5 管径筛选 A. 最大流速10 m/s。 B. 磨擦损失于标准状态下，每100 m不得大于0.2 Kg/cm2。 C. 依据附件二 CRANE B-14可求得合适之管径。 3.6 呼吸用空气(Breathing Air, BA) A. 每个呼吸用面罩以150～300 NL/min量设计。 B. BA需求量以5个面罩之量设计。 C. 面罩之使用压力约1.5 Kg/cm2(g)，故于后段过滤器后，需设置调压阀。 D. BA用空气压缩机通常选用7 Kg/cm2(g)。 3.7 管材选用 A. CDA系统 依业主需求而定，一般于吸附式干燥机以前采用SUS304；以后采用SUS316L或SUS316L BA。 B. BA系统 一般采用SUS304。 3.8 通常会从CDA系统配一支管至BA系，当作BA系统之备用。 3.9 是否于CDA系统Tie-in一支管引N2作备用， 视业主之需要而定。 3.10 于后段过滤器后管路上配置露点侦测传送器、流量传送器、压力传送器，以监测空气之品质。