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飞秒激光在硅表面微加工的研究;研究背景
实验系统
实验结果及分析;长脉冲激光与短脉冲激光的比较;研究背景;长脉冲激光与短脉冲激光的比较长脉冲激光加工;长脉冲激光与短脉冲激光的比较短脉冲激光加工;研究背景;研究背景: 飞秒激光特点;飞秒激光加工机理;飞秒激光的典型应用;飞秒激光的典型应用;飞秒激光的典型应用;实验设备;实验设备;Ti 蓝宝石激光器
中心波长 : 775nm
重复频率 : 1kHz
激光脉宽 : 150fs=150X10-15s
激光束高斯分布的线偏振光
5X 聚焦物镜 激光聚焦半径 :11μm
三维移动平台精度 : 1.0μm
;实验内容及方法;测试手段;
不同的激光参数对加工结构的影响
加工内容:打点、刻线及复杂图案
在打点过程中发现的Ripples现象
Ripples 形成原因、形成过程及影响因素;激光脉冲数对点加工的影响;点结构:激光脉冲数的影响;点结构:脉冲数对烧蚀深度影响;点结构:激光能量的影响;点结构:激光能量的影响;点结构总结:激光能量与烧蚀区域直径的关系;线结构:平台运行速度的影响;线结构:重复加工次数的影响;线结构:激光能量的影响;线结构:各种参数优化后的结果;复杂图形;Ripples特点(1);Ripples特点(2);Ripples 形成原因;Ripples 形成过程
相同能量,不同脉冲数;Ripples 形成条件;影响Ripples 走向的因素;Questions and Answers
;
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