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补充： 干式陶瓷电容压力传感器（变送器） 传感器基底和膜片都采用陶瓷，基底和膜片电极构成电容，中间无传递液，压力直接作用在陶瓷膜片上，使膜片产生0.03mm的位移,电容的变化值经激光微调,传感器专用信号调理电路ASIC放大 。 电极材料：采用钯银电极浆料（Pd-Ag 电极）。 优点：零力学滞后、高弹性、无污染，抗腐蚀性好、蠕变和迟滞小、温漂小、过载能力强，抗磨损、蠕变小；兼有较高的热导率和电绝缘强度；安装位置无影响；可测量低微压力。 缺点：差压传感器制作困难。 硅电容压力传感器（变送器） 对称的差动电容被刻蚀到单晶硅片上，压力使硅片弯曲，电容器两极间的距离发生了改变，传感器的电容值相应的也变了。这种传感器兼有电容式和硅传感器的优点，国内外都是研究热点，并有相关产品，如富士、沈阳传感器研究所等都在研究生产，具有很大发展前景。 微机械加工技术 :MEMS 4.4.3 电感式压力（差压）变送器 （1）工作原理 组成：1线圈，2铁芯，3衔铁 空气隙的磁阻 导磁体的磁阻 自感式传感器实质上是一个带气隙的铁心线圈。 目前常用的自感式传感器有变气隙式和变面积式两种。 非线性项 非线性项 （2）结构 4.4.4 振弦式压力（差压）变送器 　以拉紧的金属弦作为敏感元件。当弦的长度确定之后，其固有振动频率的变化量即可表征弦所受拉力的大小,通过相应的测量电路,就可得到与拉力成一定关系的电信号（频率信号）。 4.4.4 振弦式压力（差压）变送器 弦振动的激励方式：连续激励法和间歇激励法 因为 中，频率与张力是非线性关系，所以 需加装线性化变换电路。 三个方面——选用时应根据生产工艺对压力检测的要求、被测介质的特性、现场使用的环境等条件本着节约的原则合理地考虑仪表的量程、精度、类型（材质）等。 ⑴量程 仪表的量程是指该仪表可按规定的精确度对被测量进行测量的范围 关键：根据被测参数的大小来确定，同时必须考虑到被测对象可能发生的异常超压情况，对仪表的量程选择必须留有足够的余地。 测量稳定压力：最大工作压力Pimax不超过上限值Pmax的3/4 测量脉动压力：最大工作压力Pimax不超过上限值Pmax的2/3 测量高压压力：最大工作压力Pimax不超过上限值Pmax的3/5 最小工作压力Pimin不低于上限值Pmax的1/3 仪表的量程等级：1、1.6、2.5、4.0、6.0kPa以及它们10n倍。 在选用仪表量程时，应采用相应规程或者标准中的数值。 这只是一个一般经验要求，不是绝对的！！ 被测参数的正常值一般要求工作在仪表量程1/3~2/3为宜。（经验要求而已） 4.5 压力表的选择、校验和安装 4.5.1 压力表的选择 ⑵仪表精度 ——根据生产允许的最大误差来确定，即要求仪表的基本误差应小于实际被测压力允许的最大绝对误差。 ——在选择时应坚持节约的原则，只要测量精度能满足生产的要求，就不必追求用过高精度的仪表。 例：有一压力容器在正常工作时压力范围为0.4～0.6MPa，要求使用弹簧管压力表进行检测，并使测量误差不大于被测压力的±4％，试确定该表的量程和精度等级。 解： 由题意可知，被测对象的压力比较稳定，设仪表量程为 0～AMPa ，则 根据工作压力的要求： 根据仪表的量程系列，可选用量程范围为0～1.0MPa的弹簧管压力表。 由题意，被测压力的允许最大绝对误差为： Δmax=±0.4*4%=±0.016 MPa 这就要求所选仪表的相对百分误差为： 0.016/（1-0）*100%=1.6% 按照仪表的精度等级，可选择1.5级的压力表。 ⑶仪表类型 正确选用仪表类型是保证仪表正常工作及安全生产的前提。主要应考虑以下几个方面: 仪表的材料 压力检测(检测仪表)的特点是压力敏感元件往往要与被测介质直接接触，因此在选择仪表材料的时候要综合考虑仪表的工作条件。 输出信号类型 只需观察压力变化的，可选如弹簧管压力表、液柱式压力计那样的直接指示型的仪表； 如需将压力信号远传到控制室或其他电动仪表，则可选用电气式压力检测仪表或其他具有电信号输出的仪表； 如果要检测快速变化的压力信号，则可选用电气式压力检测仪表，如压阻式压力传感器； 如果控制系统要求能进行数字量通信，则可选用智能式压力检测仪表。 例如：对腐蚀性较强的介质应使用像不锈钢之类的弹性元件或敏感元件；氨用压力表则要求仪表的材料不允许采用铜或铜合金，因为氨气对铜的腐蚀性极强；又如氧用压力表在结构和材质上可以与普通压力表完全相同，但要禁油，因为油进入氧气系统极易引起爆炸。 ⑶仪表类型 使用环境 对爆炸性较强的环境，在使