分子直径法计算相对校正因子在气相色谱法测定三氯氢硅含量中的应用.pdfVIP

： ／ 犇犗犐１０．１１９７３犾犺犺狓２０１６０２０１４ 犼狔 　 分子直径法计算相对校正因子在气相色谱法 测定三氯氢硅含量中的应用 于晓艳，陶 明，左世芳，杨红燕，李亚娜，张永凤，赵建为 　 （昆明冶研新材料股份有限公司 云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室，曲靖 ６５５０００） 摘 要：在气相色谱法测定三氯氢硅含量中，采用分子直径法，以四氯化硅为标准物，计算氯化 　 氢、二氯二氢硅、三氯氢硅在热导检测器上的相对校正因子，并以氦气为载气，测定三氯氢硅对四氯 化硅的相对质量校正因子。未采用分子直径法得到的相对质量校正因子为０．８９１，采用分子直径 法得到的相对质量校正因子为０．９１５，两者相对误差为１．１３％。 关键词：分子直径法；气相色谱法；三氯氢硅；相对校正因子 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） Ｏ６５７．７ Ａ １００１４０２０２０１６０２０１８３０４ 　　　 　　　 犆犪犾犮狌犾犪狋犻狅狀狅犳犚犲犾犪狋犻狏犲犆狅狉狉犲犮狋犻狅狀犉犪犮狋狅狉犫 犕狅犾犲犮狌犾犪狉犇犻犪犿犲狋犲狉 狔 犕犲狋犺狅犱犪狊犃 犾犻犲犱狋狅犌犆犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犜狉犻犮犺犾狅狉狅狊犻犾犪狀犲 狆狆 ， ， ， ， ， 犢犝犡犻犪狅犪狀 犜犃犗犕犻狀 犣犝犗犛犺犻犳犪狀 犢犃犖犌犎狅狀犪狀 犔犐犢犪狀犪 狔 犵 犵 犵狔 ， 犣犎犃犖犌犢狅狀犳犲狀 犣犎犃犗犑犻犪狀狑犲犻 犵 犵 （ ， ， 犓狌狀犿犻狀 犢犲犪狀犖犲狑犕犪狋犲狉犻犪犾犆狅．犔狋犱．犓犲犔犪犫狅 犢狌狀狀犪狀犘狉狅狏犻狀犮犲犗 狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犛犻犾犻犮狅狀 犵 狔 狔 犳 狆 ， ， ） 犕犪狋犲狉犻犪犾狊犘狉犲犪狉犪狋犻狅狀犜犲犮犺狀狅犾狅 犈狀狋犲狉狉犻狊犲狊犙狌犻狀 ６５５０００犆犺犻狀犪 狆 犵狔 狆 犼 犵 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋ＲｅｌａｔｉｖｅｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｆａｃｔｏｒｓｆｏｒｈｄｒｏｅｎｃｈｌｏｒｉｄｅｄｉｃｈｌｏｒｏｓｉｌａｎｅａｎｄｔｒｉｃｈｌｏｒｏｓｉｌａｎｅｕｓｅｄｉｎＴＣＤｉｎ ｙ ｇ ＧＣｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎｏｆｔｒｉｃｈｌｏｒｏｓｉｌａｎｅｗｅｒｅｃａｌｃｕｌａｔｅｄｂ ｍｏｌｅｃｕｌａｒｄｉａｍｅｔｅｒｍｅｔｈｏｄｗｉｔｈｓｉｌｉｃｏｔｅｔｒａｃｈｌｏｒｉｄｅａｓ