低触力触发式探头之结构研制.pptVIP

XY軸以彈簧片之設計理念至於微細樑灣區變形,此結構是靠探針前頭圓球受作用力影響而使結構產生角度變化,因此為於旋轉點之A點只能有旋轉位移量,A點不能有其他軸像位移變化,否則會造成誤差,設計上必須設計為對稱 Z軸分上基座與下機做 以四片薄彈片加以連接 上基座保持顧定 下機做有位移變化量 此設計能將自由度有效拘束 使結構只能單純上下位移 A點加裝頂心引導xy軸的z軸位移量 可達到大範圍量測 * 避免在量測移動時產生共振造成量測上的誤差 * 三次元接觸式掃描探頭之研製 南台科技大學機械工程研究所 研 究 生：許清雲 指導教授：朱志良 教授 * * 大 綱 一 二 研究動機 文獻回顧 三 四 機構設計與分析 感測器與光路設計 五 六 實驗架設與實驗結果 結論 接觸式 觸發式 掃描式 非接接觸式 影像視訊螢幕 中心投影器 中心顯微鏡 * 一、研究動機 探頭的發展可分為接觸式與非接觸式。 * 二、文獻回顧 瑞士 (METAS) 英國NPL Renishaw 觸發式探頭 Renishaw SP80 * 三、機構設計與分析 Z軸系統 XY軸系統 * 探頭整體設計 材料 鋁6061-T6 工具鋼SK-2 樑彈性模數(E) 73(GPa) 2.8(GPa) 樑材料密度(ρ) 2700(kg/m3) 7860(kg/m3) 浦松比 0.31 0.3 降伏強度 255MPa 1090MPa * 訂定尺寸 建立模型 設定分析條件 * 控制參數 彈片變形率(接觸力) 彈片所承受降伏應力 最大位移量與應力分析結果 固定參數 量測範圍 ±1mm*±1mm*1mm * 自然頻率分析結果 第一自然頻率 第二自然頻率 第三自然頻率 自然頻率 33.41Hz 107.05Hz 107.78Hz * 四、感測器與光路設計 系統整合圖 一維PSD 二維PSD 雷射二極體 自行研發電路 光路示意圖 系統整合實體圖 * 四、實驗架設與實驗結果 X軸量測範圍 Z軸量測範圍 Y軸量測範圍 量測範圍(mm) X 軸 ±1? Y 軸 ±1? Z 軸 ±1? 接觸式量測探頭之實驗架設示意圖 結構以XY軸系統與Z軸系統結合而成，其特色在於將結構之自由度限制為三個，並能快速作探針交換。 量測系統以雷射二極體與PSD位置感測器作為感測裝置，並搭配光路系統設計，能量測Z軸位移與XY軸的角度位移。 * 五、結論 Thank you for your attention! * * 接觸式觸發探頭用於擷取表面上的不連續點，而掃描系統則擷取大量的表面資料，更清楚地顯現工件的形貌。 接觸式 形狀量測誤差 掃描式結構複雜製造成本高 * Renishaw每隔120度有一組由一支元宵與兩個圓球組成之串連電路,當任何一組元宵與圓球間會有空系時形成斷電子時為一個觸發訊號(接觸力太大,結構誤差大) NPL 接觸式探頭 懸吊機構三個碳化鎢管與同合金系線分別以120度微繞炭棒 量測範圍20um 0.2MN 瑞士METAS利用特殊的平行撓性鉸鍊製作此機構，設計出能抑制旋轉自由度且具有XYZ方向平移的感測探頭，探針的設計是以磁吸式的方式固定於機構下方，能更換不同尺寸的探針，觸發力小於0.5mN，重複性0.5nm，不確定度為30nm，量測範圍為200um。 SP80 讀取光刪格數確認移動量 範圍2.5 量測力1.8N 0.02 * * 接觸式觸發探頭用於擷取表面上的不連續點，而掃描系統則擷取大量的表面資料，更清楚地顯現工件的形貌。 接觸式 形狀量測誤差 掃描式結構複雜製造成本高 * Renishaw每隔120度有一組由一支元宵與兩個圓球組成之串連電路,當任何一組元宵與圓球間會有空系時形成斷電子時為一個觸發訊號(接觸力太大,結構誤差大) NPL 接觸式探頭 懸吊機構三個碳化鎢管與同合金系線分別以120度微繞炭棒 量測範圍20um 0.2MN 瑞士METAS利用特殊的平行撓性鉸鍊製作此機構，設計出能抑制旋轉自由度且具有XYZ方向平移的感測探頭，探針的設計是以磁吸式的方式固定於機構下方，能更換不同尺寸的探針，觸發力小於0.5mN，重複性0.5nm，不確定度為30nm，量測範圍為200um。 SP80 讀取光刪格數確認移動量 範圍2.5 量測力1.8N 0.02 * XY軸以彈簧片之設計理念至於微細樑灣區變形,此結構是靠探針前頭圓球受作用力影響而使結構產生角度變化,因此為於旋轉點之A點只能有旋轉位移量,A點不能有其他軸像位移變化,否則會造成誤差,設計上必須設計為對稱 Z軸分上基座與下機做 以四片薄彈片加以連接 上基座保持顧定 下機做有位移變化量 此設計能將自由度有效拘束 使結構只能單純上下位移 A點加裝頂心引導xy軸的z軸位移量 可達到大範圍量測 *