[工学]第4章 电容式传感器.pptVIP

电容式传感器 电容式传感器——将被测非电量的变化转换为电容量变化。 平板电容器的电容 根据被测参数的变化分： 变极距型电容传感器(d) 变面积型电容传感器(A) 变介质型电容传感器(ε) 1.灵敏度（变极距型） 2.非线性 2.电容式油量表 2.电容式油量表 当油箱中注满油时，液位上升，指针停留在转角为?m处。当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容量Cx减小，电桥失去平衡，伺服电动机反转，指针逆时针偏转（示值减小），同时带动RP的滑动臂移动。当RP阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状态，伺服电动机停转，指针停留在新的位置（? x 处）。 电容式液位计 棒状电极（金属管）外面包裹聚四氟乙烯套管，当被测液体的液面上升时，引起棒状电极与导电液体之间的电容变大。 聚四氟乙烯外套 3.电容式差压变送器 高压侧进气口 低压侧进气口 电子线路位置 内部不锈钢膜片的位置 电容式差压变送器内部结构 1—高压侧进气口 2—低压侧进气口 3—过滤片 4—空腔 5—柔性不锈钢波纹隔离膜片 6—导压硅油 7— 凹形玻璃圆片 8—镀金凹形电极 9—弹性平膜片 10—? 腔 各种电容式差压变送器外形 4.电容式转速传感器 设齿数为Z，由计数器得到的频率为f，则转速n（r/min）为: 5.电容式位移传感器 电容式位移传感器在测振幅和测轴回转精度和轴心偏摆的应用。 6.湿敏电容 利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时，吸湿性介质吸收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加（水的相对介电常数为80），所以电容量增大。 湿敏电容外形 吸水高分子薄膜 湿敏电容模块及传感器外形 多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形 4.6容栅式传感器 容栅传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展起来的一种新型传感器。它的电极不止一对，电极排列呈梳状，故称为容栅传感器。同组中有多个电极或多个电极并联，极大地提高了灵敏度。 容栅传感器可实现直线位移和角位移的测量，根据结构形式，容栅传感器可分为长容栅、片状圆容栅、柱状圆容栅三类。 1.直线形容栅传感器（长容栅） 长容栅结构原理图 式中，n—— 动尺栅极片数； a，b——栅极片长度和宽度。 容栅传感器的最小电容量理论上为零，实际上为固定电容C0，为容栅固有电容。当动尺沿x方向平行于定尺不断移动时，每对电容的相对遮盖长度a将由大到小，由小到大地周期性变化，电容量值也随之相应周期变化，如图所示，经电路处理后，则可测得线位移值。 2.圆形容栅传感器（片状圆容栅） 最大电容为： 式中 r1，r2 ——圆盘上栅极片内半径和外半径； α——每条栅极片对应的圆心角。 3.筒形容栅传感器（柱状圆容栅） 筒形容栅传感器由两个套在一起的同轴圆筒组成，电极镀在圆筒上，可实现长度的测量。柱状圆容栅的结构原理图如图所示。 随着微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展，各种基于MEMS技术的传感器也应运而生，由于国防和尖端技术需要，微加速度传感器近年来发展迅速。在各种微加速度传感器中，微电容式加速度传感器具有结构简单、灵敏度高、动态特性好、抗过载能力强，体积小、重量轻、易于与测试、控制电路集成、有利于大规模批量生产等优点，其研究和应用受到越来越广泛的关注。 硅微加工加速度传感器 图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量交变加速度（振动），也可测量惯性力或重力加速度。其工作电压为2.7～5.25V，加速度测量范围为数个g，可输出与加速度成正比的电压也可输出占空比正比于加速度的PWM 脉冲。 微加工三轴加速度传感器 技术指标： 灵敏度：500mV/g ， 量程：10g， 频率范围：0.5-2000Hz，安装谐振点:8kHz ， 分辨力：0.00004g ， 重量：200g ， 安装螺纹：M5 mm ， 线性误差：≤1% 硅微加工加速度传感器原理 1—加速度测试单元； 2—信号处理电路； 3—衬底 ； 4—底层多晶硅（下电极）； 5—多晶硅悬臂梁； 6—顶层多晶硅（上电极） 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结