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[工学]第四章 空气洁净原理
第四章 空气洁净原理 一、洁净室气流组织 洁净室按气流组织分四类: 单向流洁净室; 非单向流洁净室(乱流洁净室); 辐(矢)流洁净室; 混合流(局部单向流)洁净室。 合理的洁净室气流组织能使室内空气的流动符合设计要求,保证室内空气的温度、湿度、流速及洁净度等满足工艺、人员的舒适度要求。 一般原则 洁净室气流组织的设计原则: 送入的洁净气流扩散速度快、气流分布均匀,以尽快稀释室内含有污染源所散发的污染物质的空气,维持生产环境所要求的洁净度; 使散发到洁净室的污染物质能迅速排出室外,尽量避免或减少气流涡流和死角,缩短污染物质在室内的滞留时间,降低污染物质与产品的接触机率; 满足洁净室内温度、湿度等空调送风要求和人的舒适要求。 二、单向流洁净室气流组织 过去称:层流洁净室或平行流洁净室。 定义:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在全室截面上通过的洁净室。 单向流洁净室的基本原理: 单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染物排出。 1、单向流洁净室原理图 单向流洁净室的特点: 在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面基本上没有什么变化。 送风静压箱和高效过滤器起到均压流作用,全室断面上的流速比较均匀,在工作区内流线单向平行,没有涡流。 单向流洁净室不是靠掺混稀释作用,而是靠推出作用将室内的污染空气沿整个断面排至室外。 垂直单向流洁净室 单向流洁净室气流组织 保证单向流洁净室特性的先决条件有两个: 来流的洁净度; 来流的活塞流情况。 重要措施:在顶棚或墙面满布高效过滤器 不可能百分之百地满布过滤器。 过滤器的满布情况 单向流洁净室的满布比一般情况下应达到80% ; GB50073-2001规定:垂直单向流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流。 满布情况与洁净控制 理想满布比为100%时,过滤器后房间内含尘浓度只决定于过滤器送风浓度。 实际情况满布为一个比例时,此时就有涡流区,满布比不同的单向流洁净室,其含尘浓度是不同的。人员密度不同的单向流洁净室含尘浓度也不同,所以要适当控制单向流洁净室的人员数量。 满布比和洁净气流满布比 2、单向流洁净室的特性指标 单向流洁净室性能的特性指标: 流线平行度 流线平行的作用是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。 乱流度(速度不均匀度) 速度场的集中或离散程度。 下限风速 保证洁净室能控制四种污染的最小风速。 中国、美国的工作区规定 流线平行度与渐变流 如果流线是渐变流的曲线,那么其和工作区下限平面的交点以及和下限平面之上1.05m处的平面的交点之间的连线,与水平方向的倾角应大于65°。 流线平行度与流线交角 单向流洁净室要求流线之间既要平行,在0.5m距离内线间夹角最大不能过25° 要求流线尽可能垂直于送风面其倾斜角不能小于65°。 乱流度(速度不均匀度) 速度场均匀对于单向流洁净室是极其重要的,不均匀的速度场会增加速度的脉动性,促进流线间的质点的掺混。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度。 下限风速与污染源 下限风速是指保证洁净室能控制以下四种污染的最小风速 当污染气流多方位散布时,送风气流要能有效控制污染的范围;不仅要控制上升高度,还要控制横向扩散距离。 当污染气流与送风气流同向时,送风气流能有效地控制污染气流到达下游的扩散范围。 当污染气流与送风气流逆向时,送风气流应能将污染气流抑制在必要的距离之内; 在全室被污染的情况下,要能以合适的时间迅速使室内空气自净。 下限风速建议值 单向流洁净室气流组织的主要形式 垂直单向流洁净室 垂直单向流满布过滤器,格栅回风; 垂直单向流满布孔板,格栅回风; 垂直单向流满布阻尼层,格栅回风; 垂直单向流两侧下回风,过滤器送风; 垂直单向流两侧下回风,孔板送风; 垂直单向流两侧下回风,阻尼层送风; 垂直单向流,周边压出式回风,满布过滤器送风; 无气幕局部垂直单向流; 有围挡壁的局部垂直单向流。 单向流洁净室气流组织的主要形式 水平单向流洁净室 水平单向流直回式 水平单向流隧道式 全侧墙回风式/全地面回风式/侧墙和地板组合回风式。 其他形式:水平单向流一侧回式;水平单向流双侧回式;水平单向流上回风式;水平单向流对送式 。 垂直单向流满布过滤器+格栅回风 特点可以获得均匀向下的单向平行气流,自净能力强,能够达到最高的洁净度级别 工艺设备可以任意布置,可简化人净设备 顶棚结构复杂、造价和维护费用高。 垂直单向流满布孔板+格栅回风 为了降低洁净室的造价,可以将高效过滤器布置在两侧,顶棚满布孔板,起到使气流均匀的作用。但是侧布高效过滤器不容易满足风量的要求,因此这种方式可以应用于洁净面积较小,风量不大的
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