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[工程科技]3D集成中的晶圆键合挑战
SEMI大半导体产业网
wafer bonding challenges
for 3-D integration
Wafer bonding challenges
for 3-D integration
Anne Jourdain, Andy Miller and
Bart Swinnen
1 7/14/2010 Event, Venue information
SEMI大半导体产业网
Outline
• Thin wafer handling for 3D integration:
Requirements
• Current solutions
• Carrier-based thin wafer handling: generic
learning
• Ideas / Questions for standardization
2 7/14/2010 Event, Venue information
SEMI大半导体产业网
Thin wafer handling for 3D integration:
Requirements
• Provide sufficient mechanical stability for backside
processing
• Compatible with product integration flow
• Temperature budgets
• Chemical compatibility
• Cleanliness
• Compatible with standard processing tools
• Reasonable COO
Requirements apply to
Carrier + adhesive + device system
3
SEMI大半导体产业网
Outline
• Thin wafer handling for 3D integration: Requirements
• Current solutions
– General process flow
– Carrier wafers – Laser abladable glues
– Carrier wafers – Thermoplastic glue materials
– Carrier wafers – Peelable glue materials
– Carrier wafers – Room Temperature debondable glue materials
– Carrier wafers – Chemically removable glues
– Carrierless – Patterned support ring
• Carrier-based thin wafer handling: generic learning
• Ideas / Questions for standardization
4 7/14/2010 Event, Venue information
SEMI大半导体产业网
Outline
• Thin
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