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薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子工程与技术学院 复习：对于多层膜 基础理论—多层膜特性 华中科技大学光电子科学与工程学院 反射率 透射率 吸收率 反射相移 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 对称膜系的等效折射率 做矩阵的乘法运算得： 正是由于第四个关系式成立才使我们有可能引入等效折射率的概念 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 由于对称膜系的特征矩阵和单层膜的特征矩阵具有相同的性质，可以假定以相似的形式来表示： 对称膜系的等效折射率 因此它可以用一层特殊的等效单层膜来描述， 这层等效膜的折射率E（等效折射率）和位相厚度τ (等效位相厚度) 可以由下面方程求得： 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 对称膜系的等效折射率 所以有： 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 对称膜系的等效折射率 从M=pqp可以推广到任意多层的对称膜系在数学上都可以用一个单层膜的特征矩阵所表示。 例如：M=h(u(v(pqp)v)u)h 另：最常用的周期膜系如：M=HLHLHLHLHLH 一方面表示为:M=H(L(H(L(H)L)H)L)H 另一方面可以表示为：M=H/2（H/2LH/2)5H/2的形式 H/2LH/2是一个对称单元 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 L/2HL/2等效折射率 H/2LH/2 对称膜系的等效折射率 g— 相对波数 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 对称膜系的等效折射率 对于某些波长范围M11的绝对值大于1 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 对称膜系的等效折射率 对于M11的绝对值小于1的情况： 上式表示一个周期性对称膜系在它的透射带中仍然存在有一个等效折射率，它和基本周期对称组合等效折射率E完全相同，并且它的等效位相厚度等于基本周期的等效位相厚度s倍． 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 矢量法 如果膜层没有吸收那么各个界面的振幅反射系数为实数 各层薄膜的位相厚度为: 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 矢量法 矢量法的计算步骤是首先计算各个界面的振幅反射系数和各层膜的位相厚度，把各个矢量按比例地画在同 一张极坐标图上，然后按三角形法则求合矢量． 求得的合矢量的模即为膜系的振幅反射系数，幅角就是反射光的位相变化而能量反射率是振幅反射系数的平方。 若在所考虑的整个波段内，忽略膜的色散，则对于所有波长振幅反射系数r1，r2、r3和r4均相同。 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 矢量法 为了避免在作矢量图时方向混乱，我们可以规定： 1． 矢量的模r1, r2, r3, r4…，正值为指向坐标原点,负值为离开原点． 2． 矢量之间的夹角仅决定于膜层的光学厚度和所考察的波长(即决定于膜层的位相厚度)按逆时针方向旋转。界面上的位相跃变已经包含在振幅反射系数的符号中，不必另作考虑。 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 矢量法 举例：3层膜N0=1 N1=1.38 N2=1.9 N3=1.65 N4=1.52 各层的光学厚度：N1d1=λ/4 N2d2=λ/2 N3d3=λ/4 λ 0=520nm,我们分别计算400nm 520nm 650nm处的反射率 反射系数分别为： 不同波长的夹角： 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 矢量法 R400nm=0.81% R520nm=0.09% R650nm=0.49% 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 麦克劳得导纳图解技术简介 如果从基片开始通过每一层膜直到多层膜的前表面，把 平行于基片的任意平面处的光学导纳画在一复平面上则描述了整个生长过程中多层膜导纳的变化轨迹。对于每一层介质膜，导纳轨迹是圆心位于实轴上的园或圆弧。 薄 膜 光 学——基础理论 华中科技大学光电子科学与工程学院 麦克劳得导纳图解技术简介 导纳轨迹方程推导： 基础理论－导纳图解技术: 薄膜导纳图的特点： 1、圆心坐标为 且通过点 的圆(弧); 2、导纳圆与实轴相交于 和 ； 3、两交点之间的相位为 ；