[工学]07-第4章 精密和超精密加工机床-20070609.ppt

第4章 精密和超精密加工机床 4.1 精密和超精密加工机床概述 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 4.2 精密机床主轴系统 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 4.3 精密机床导轨系统 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 4.4 精密机床进给系统 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 4.5 微量进给（微位移）机构 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 第4章 精密和超精密加工机床 * * 1）提高机床加工精度的方法 ——运用加工误差理论，改进加工设备，使其加工精度得以提高。 蜕化加工原则—— 创造性加工原则—— 用比工件精度高的设备加工零件，加工出的零件的精度低于设备的精度。也叫“母性加工原则”——广泛应用的方法。 对精度低于工件精度要求的设备采取合理措施加以改进提高（精化）后，再用来加工高精度零件的方法——实现精密加工的主要途径。 2） 蜕化加工原理 加工母机（机床） 工件 精度 1μm 2μm 以滚齿加工为例： 滚齿机分度误差 齿轮的分度误差＝机床分度误差＋刀具误差＋工件安装偏心＋其它随机误差 蜕化加工特点： 加工效率高、成本低，适于批量生产 机床精度必须高于工件精度 加工出的齿轮的分度误差大于滚齿机自身的分度误差 3）创造性加工原理 二代母机（机床） 工件 精化后的机床 直接法 间接法 蜕化法 直接法创造性加工—— 对加工用的机床及其工艺系统进行精化，从而提高工件的加工精度。——适用于单件或小量加工高精密零件。 间接法创造性加工—— 研制更高精度的机床及其工艺系统，再按蜕化法来加工高精度零件。——适用于批量精密加工。 4）机床设计提高加工精度的途径 机床主轴系统 导轨系统 （微量）进给机构 稳固的床身 检测与误差补偿系统 1） 关键精度要求： 2） 液体静压轴承主轴系统 主轴回转误差（精度）：≤0.1 μm 刚度大、承载能力强 油压：6-8 MPa 油经过恒温控制； 轴承用恒温水冷却 典型液体静压轴承主轴结构 1-径向轴承； 2-止推轴承； 3-真空吸盘 3） 空气静压轴承主轴 允许的转速高； 回转精度高； 刚度低、承载能力小； 气隙：6-15 μm； 气压：0.4-0.8 MPa 空气静压轴承主轴示例 1） 液体静压导轨 静压导轨的优点： 消除低速爬行 吸振减振 误差迟钝化 减小摩擦阻力 2） 气体静压导轨 3） 静压导轨的精度 4.4.1 精密数控系统 1）精密数控系统的基本要求： 主要包括：精密数控系统、进给驱动机构 多轴联动（非球曲面要求：x轴、y轴、B转轴三轴联动） 系统高分辨率：≤ 0.01 μm /脉冲 驱动电机：直流伺服电机或交流伺服电机 闭环控制：位移信号反馈（光栅磁尺、激光测量系统…) 2）典型机床数控系统： 德国——西门子数控系统 日本——发那哥数控系统 中国——兰天数控系统、广州数控系统、… 4.4.2 进给驱动机构 主要包括：精密滚珠丝杠副、液体/空气静压丝杠副、摩擦副 1）精密滚珠丝杠副驱动 精度指标：螺距误差0.5-1 μm；累计螺距误差 3-5 μm/300mm 2）液体/空气静压丝杠副驱动 特点： 运动非常平稳 刚度较低 存在反向间隙 成本高 3）摩擦副驱动 特点： 运动非常平稳 直线运动精度高 结构设计困难 4.5.1 微量进给（微位移）机构的用途 微量进给 超薄切削 精密测量误差补偿 精密仪器微调机构 定义——指行程小于1mm，灵敏度和精度高（亚微和纳微级） 的机构。 4.5.2 对微量进给（微位移）机构的要求 高的分辨率和灵敏度 ( 0.001-0.01μm )