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ZnO_Ag_ZnO多层结构薄膜的光电性质
32 9 Vol. 32 No. 9
第 卷 第 期 发 光 学 报
2011 9 Sept． ，2011
年 月 CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
文章编号:1000-7032 (2011)09-0920-04
ZnO /Ag / ZnO 多层结构薄膜的光电性质
1 ，2 1* 1 1 1 1
， ， ， ， ，
郭 亮 赵东旭 张振中 李炳辉 张吉英 申德振
(1． ， 130033 ;
中国科学院激发态物理重点实验室长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春
2 ． ， 100039)
中国科学院研究生院 北京
摘要: ZnO / Ag / ZnO ， 、 、
通过磁控溅射方法生长了不同银层厚度的 多层结构的薄膜 并对其形貌 光吸收谱 光致
发光和光响应特性进行了比较研究。 ZnO 。
结果表明 薄膜中银薄层的加入使得光致发光的强度增强 银层厚
6 nm 350 nm 0 ． 06 A / W ， ZnO 。
度为 样品制成的器件在 处的光响应度为 相对于 薄膜提高了一个数量级 而当
15 nm ， 。
银层厚度达到 时 光响应度反而下降
:ZnO ; ; ;
关 键 词 多层结构 银薄层 光致发光 光响应
中图分类号:O472 ． 8 ;O482 ． 31 PACS :78． 55 ． Et PACC :7855 文献标识码:A
DOI :10 ． 3788 / fgx． 0920
Ag
发现包埋合适厚度的 薄层能够使带边发光和
1 引 言
紫外光响应都有所加强。
ZnO ，
是宽禁带半导体材料研究的热点 其禁
2 实 验
带宽度为 3． 37 eV ，具有高的激子束缚能 (60
meV) ， ［1-4］、 ZnO 多层结构样品的制备是用射频磁控溅
和很好的物理化学性质 在发光二极管
［5-6］、 ［7-8］ ， 99 ． 99% ZnO
紫外探测器 透明导电薄膜 等光电器件领 射 靶材为纯度 的 粉末
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