[工学]第二章电容式传感器.pptVIP

第3章 电容式传感器 3.1 电容式传感器的工作原理和结构 3.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 3.3 电容式传感器的测量电路 3.4 电容式传感器的主要性能、特点 3.5 电容式传感器的应用 电容器是电子技术的三大类元件（电阻、电感和电容）之一，利用电容器的原理，将非电量转换成电容量，进而实现非电量到电量的转化的器件或装置，称为电容式传感器，它实质上是一个具有可变参数的电容器。 优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此电容传感器的非线性得到较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。 3.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。 图3-1 电容式传感元件的各种结构形式 3.1.1 变极距型（变间隙型）电容传感器 图 3-2为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为d0时，由电容表达式可知其初始电容量C0为： 其中： εr为 介质的相对介电常数 ε0为真空介电常数 (ε0=8.85×10-12F/m) 图3-2 变极距型电容式传感器 图3-3 电容量与极板间距离的关系 d0过小时，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质, 如图 。 图3-4 放置云母片的电容器 极距d变化型 3.1.2 变面积型电容式传感器 图3-5为变面积型电容传感器原理结构示意图。 当动极板相对于定极板沿长度方向平移Δx时，则电容变化为 图3-5 变面积型电容传感器原理图 结论：变面积型电容传感器的输出特点为线性。 即边长b↑或间隙d↓＝＞K ↑ 面积变化型 平面线位移型 柱面线位移型. 3.1.3 变介质型电容式传感器 当电容式传感器中的电介质改变时，其介电常数变化，从而引起了电容量发生变化。此类传感器的结构形式有很多种，图3-6为介质面积变化的电容式传感器。这种传感器可用来测量物位或液位，也可测量位移。 6 C = CA+CB 当无ε2介质时电容量为 当插入ε2介质时， 即：电容量C与位移x呈线性关系 产品. 3.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 其相对非线性误差： 由上式可见，输出电容的相对变化量ΔC/C0与输入位移Δd之间成非线性关系，当|Δd/d0|1时可略去高次项，得到近似的线性关系： 电容传感器的灵敏度为： 即：单位输入位移所引起的输出电容相对变化的大小与d0呈反比关系。 分析影响非线性误差和灵敏度的因素。 在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差，一般采用差动式结构。图3-7是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图。 图3-7 差动平板式电容传感器结构图 1. 差动电容式传感器及其输出特性 (C1、C2的介质相同) 设初态d01=d02=d0, 则C01=C02=C0。动极板上移Δd： 相对非线性误差： 灵敏度： 结论：采用差动结构，灵敏度提高了一倍，非线性 误差减少了一个数量级。 3.3 电容式传感器的测量电路 一、变压器电桥 电容式传感器所用的变压器电桥如图3-8所示。当负载阻抗为无穷大时，电桥的输出电压为 ;以 ， 代入上式可得 式中，C1、C2为差动电容式传感器的电容量。设C1和C2为变间隙式电容传感器，则有 结论：变间隙式差动电容传感器采用变压器电桥测量 电路，输出电压与位移呈线性关系。 二、运算放大器式电路 1. 工作原理 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高, 其特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路。图中Cx为电容式传感器电容；Ui是交流电源电压；Uo是输出信号电压；Σ是虚地点。 . . 图3-12 运算放大器式电路原理图 -K 0 C0 为运算放大器输出电压； 为信号源电压；Cx为传感器容量；C0为固定电容器。 特点：（1）非线性误差小（增益和输入阻抗足够大）。 （2）需克服分布电容影响。 办法