CleanRoom-高雄第一科技大学.PDF

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微系統製造與實驗─微影製程 1 National Kaohsiung First University of Sci. Tech. 微影製程 Lithography 余志成 高雄第一科技大學機械系 Department of Mechanical and Automation Engineering National Kaohsiung First University of Science and Technology MicroSystem Fabrication Lab. NKFUST Clean Room Particles Humidity Vibration Pressure Electromagnetic wave Static De-Ionized water MEMS Lab. 2 國立高雄第一科技大學機械系 余志成  2004 微系統製造與實驗─微影製程2 NKFUST 無塵室等級 塵粒控制 HEPA過濾 洗手→戴口罩→戴無塵帽→穿無塵衣→穿無塵鞋→戴塑膠手 套→用空氣清洗 日本:每立方英呎室內之空氣 美國:每立方英呎室內之空氣 所含有大於或等於0.1 μm之微 所含有大於或等於0.5 μm之微 塵粒子顆數 塵粒子顆數 級別 1 不超過101顆 Class 1 不超過1顆 級別2 不超過102顆 Class 10 不超過10顆 級別3 不超過103顆 Class 100 不超過100顆 4 級別4 不超過10 顆 Class 1000 不超過1000顆 MEMS Lab. 3 NKFUST 粉塵對製程的影響 影響晶圓的鍍膜製程 影響局部材料電性 影響微影圖形 孔洞 限制局部導線電流 短路 MEMS Lab. 4 國立高雄第一科技大學機械系 余志成  2004 微系統製造與實驗─微影製程3 NKFUST 無塵室的控制項目

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