IV奈米材料之量测技术-大同大学奈米科技教学网站.PDFVIP

IV. 奈米材料之量測技術 傳統的特性理論和設備操作的模型和材料是包括基於臨界範圍普遍大於 100奈米的假 設。當物質結構的至少一維在這個臨介面以下，與眾不同的表現會出現，這些現象將不能被 傳統的模式和理論所解釋。因而，各個不同學科的科學家熱心研製和分析奈米結構，來發現 在單個分子/原子中等範圍內的新穎現象以及眾多分子下的新穎現象的發展。奈米結構提供 了材料製造的新方法，通過次微米的裝配（理想的是運用自我組織和安裝的方法）來製造材 料，是用由小到大的，而不是由大到小的微型化方法-把更小的結構從大的結構上分離下 來。然而，我們只是剛開始理解其中的一些規律並運用來創造重新設計的奈米結構以及如何 經濟的製造奈米設備和系統。第二，即使當奈米製造的時候，那些奈米結構觀察、加工設備 的物理和化學特性也正在逐步被發現。現行的微米和更大設備是只有基於超過 100奈米的模 型上才能工作。在每一個物理、化學、生物特性和製造原理和發展控制他們的方法的進步， 將產生我們設計，生產和裝配奈米結構和設備成為一個工作系統的能力提高 。而奈米材料之 量測與分析技術成為未來應用之重要發展。本章節將介紹重要之幾種分析量測技術。 1. 掃描束顯微鏡 歷史發展 最早發明的光學顯微鏡，能觀察我們肉眼看不見的生物細胞，後來發明瞭電子顯微鏡， 能進一步看到細胞內部的結構。這些都是在微米尺度上的觀察。所謂微米，就是頭髮絲的幾 十分之一。到了 20世紀八十年代，掃描隧道顯微鏡的發明，使人們的觀察視野更深入了一 步，進入到奈米層次。奈米相當於頭髮絲的幾十萬分之一，能看到物質內部的分子和原子。 1982年 IBM 原子之間的隧道電流效應發明瞭掃描隧道顯微鏡（簡稱 STM），從而使人們第一次直觀地 看到了原子、分子，被人們稱為可以看得見原子的顯微鏡。 STM 的發明解開了物理學中的很多問題，使兩位科學家獲得了 1986年的諾貝爾物理學 獎。其後 1986年原子力顯微鏡（簡稱 AFM）誕生，它的出現加深、拓寬了應用範圍，可以 綜合地對物質表面的微結構（原子、分子級別）資訊，如成分、溫度、硬度 、表面電勢和電 容繪圖以及磁、電、粘著、摩擦等資訊進行測量和分析，因而它們又被稱為繼光學顯微鏡、 電子顯微鏡後的第三代顯微鏡。常用顯微術比較表如表4.1。 目前除了隧道顯微鏡（STM ）、原子力顯微鏡（AFM）以外，還有近場光學顯微鏡 （NSOM）、側面力顯微鏡（I FM）、磁力顯微鏡（M FM）、極化力顯微鏡（ SPFM ）……已 有二十多個品種。但大部分還處在實驗室的產品研發階段。由於它們都是用探針通過掃描系 統來獲取圖像，因此這類顯微鏡統稱為掃描探針顯微鏡（SPM）。表 4.2列述相關技術及發 明人。 IV- 1 SPM 與前二代顯微鏡不僅成像原理不同，而且更為令人興奮的是 SPM 中的某些品種還 能操縱一個個原子、分子。最早的成果是 IBM 的科學家用一個個氙原子在鉑表面上排布成 IBM 商標字樣。目前在操縱原子、分子上又有很大發展，人們有朝一日終將按照自己的意志 直接操縱一個個原子來製造具有特定功能的產品。SPM 使人類在奈米尺度上，觀察、改造世 界有了一種新的工具和手段。由於 SPM 的優良特性，使其一誕生便得到廣泛的重視。主要 應用在教學、科研及工業領域，特別是半導體集成電路、光盤工業、膠體化學、醫療檢測、 存儲磁盤、電池工業、光學晶體等領域。隨著 SPM 的不斷發展，它正在進入食品、石油、 地質、礦產及計量領域。 表4.1. 常用顯微術比較表 光學顯微術(OM ) 掃描電子顯微術(SEM )穿透電子顯微術(TEM )掃描探針顯微術(SPM ) 橫向解析度 200奈米 1奈米 原子級 原子級 縱向解析度 20奈米 10奈米 無 原子級 成像範圍 1毫米 1毫米 0.1毫米 0.1毫米 成像環境 無限制 真空 真空