电浆放电基本原理.PDF

薄膜工程 周麗新 第四章 電漿放電基本原理 電漿放電 為一由離子、電子及中性質點所組成的部份 (plasma discharge) 游離的電中性的氣體 ，氣體中帶電質點的密度高到足以產生明顯的庫倫交 互作用 ，而且這些交互作用強到使得帶電質點表現出流體的行為，並且決 定許多電漿的性質 。目前許多薄膜製程是在電漿環境下進行，因此本章僅 就薄膜製程時所需要知道的基本電漿知識做一介紹 ，首先將介紹電漿中的 電子能量分佈 、繼而介紹原子碰撞及分子碰撞、最後將介紹電漿中的電位 分佈以及磁場的效應 。 第一節 電漿能量分佈 1.1 分佈函數 電漿的許多性質是由氣體中帶電荷的質點所決定 ，因此描述電漿 的行為必需由帶電荷質點的行為出發 ，而氣體中帶電荷質點的行為則 必需使用氣體動力論的分佈函數加以定量敘述 ，因此在介紹電漿能量 分佈之前 ，首先要復習氣體動力論之速度分佈函數、速率分佈函數 (speed distribution function) 及 能 量 分 佈 函 數(energy distribution function) 。 r dn 對一熱力平衡的氣體 ，其質點的速度分佈 可以馬 f (v) dv dv dv x y z 克斯威爾分佈函數 表示 ： (Maxwellian velocity distribution function) 3 2 Ê r 2 ˆ r Ê m ˆ mv f (v) = nÁ ˜ exp - ， Á ˜ Ë 2pkT¯ Ë 2kT ¯ r 其中 為質點速度， 為質點質量， 為質點密度， 為菠次曼常數， v m n k 為氣體溫度。質點的速率分佈函數 則可表示為 ： T f(v) 3 2 Ê m ˆ 2 Ê mv2 ˆ f v 4 v n ， ( )= p Á ˜ expÁ - ˜ Ë 2pkT¯ Ë 2kT ¯ 而質點的能量分佈函數 則可表示為 ： f( ) e 141 薄膜工程