[工学]01微电子工艺基础绪论.ppt

微电子工艺基础 王静 一 概述 1.为什么要学这门课？ 微电子技术的发展不外乎包括两个方面：制造工艺和电路设计,而这两个又是相辅相成,互相促进,共同发展 。 微电子技术的发展与进步，主要是靠工艺技术的不断改进，使得器件的特征尺寸不断缩小，从而集成度不断提高，功耗降低，器件性能得到提高。芯片制造工艺在1995年以后，从0.5微米、0.35微米、0.25微米、0.18微米、0.15微米、0.13微米、0.11微米、0.09微米一直发展到当前的0.08微米。 只有真正理解了芯片的制作过程，你才能根据具体的需要设计集成度高，功耗低，性能好的器件，从而推动微电子技术的进一步发展。 1.为什么要学这门课？ 提高显示芯片的制造工艺具有重大的意义，因为更先进的制造工艺会在显示芯片内部集成更多的晶体管，使显示芯片实现更高的性能、支持更多的特效；更先进的制造工艺会使显示芯片的核心面积进一步减小，也就是说在相同面积的晶圆上可以制造出更多的显示芯片产品，直接降低了显示芯片的产品成本，从而最终会降低显卡的销售价格使广大消费者得利；更先进的制造工艺还会减少显示芯片的功耗，从而减少其发热量，解决显示芯片核心频率提升的障碍.....显示芯片自身的发展历史也充分的说明了这一点，先进的制造工艺使显卡的性能和支持的特效不断增强，而价格则不断下滑，例如售价为1500左右的中端显卡GeForce 7600GT其性能就足以击败上一代售价为5000元左右的顶级显卡GeForce 6800Ultra。 一 概述 这门课的对象？ 这门课的对象？ interl 45nm晶圆 这门课的对象？ 这门课的对象？ 这门课的对象？ 这门课的对象？ 芯片制作流程 这门课的对象？ /AMuseum/ic/index_02_08.html 一 概述 本课程的主要内容 参考文献 刘玉岭等编著，《微电子技术工程—材料、工艺与测试》 施敏等编著，《半导体制造工艺基础》 一 概述 第1章 绪论 本章（2学时）目标： 1、分立器件和集成电路的区别 2、平面工艺的特点 3、微电子工艺的特点 4、芯片制造的四个阶段 第1章 绪论 一、微电子产业 二、芯片制造的几个阶段 第1章 绪论 一、微电子产业 第1章 绪论 一、微电子产业 1、微电子产业在国民经济中的作用 第1章 绪论 一、微电子产业 第1章 绪论 一、微电子产业 2、半导体工业的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 第1章 绪论 一、微电子产业 3、分立器件、集成电路 第1章 绪论 一、微电子产业 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况 （1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（1）平面工艺的诞生 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（2）平面工艺的发展 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（3）工艺及产品趋势 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（3）工艺及产品趋势 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（3）工艺及产品趋势 第1章 绪论 一、微电子产业 4、微电子工艺的发展概况（3）工艺及产品趋势 第1章 绪论