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第五章 磁电式传感器 定义 利用电磁感应原理(发电机原理）将被测量（如振动、位移、转速等）转换成电信号的一种传感器。 直接将机械能转换为电能，是有源传感器。 5.1 磁电感应式传感器 一、类型及其工作原理 5.2 霍尔式传感器 一、工作原理 1. 霍尔效应 将半导体薄片置于磁场B中，在薄片控制电极通以电流I，在输出电极产生霍尔电势UH。此现象为霍尔效应。 5.3 磁栅式传感器 2.寄生直流电势 原因： ①由于元件的两对电极不是完全欧姆接触而 形成整流效应， ②两个霍尔电极的焊点大小不等、热容量不同引起温差所产生的。 三、霍尔元件温度误差及补偿 霍尔元件是采用半导体材料制成的, 因此它们的许多参数都具有较大的温度系数。当温度变化时, 霍尔元件的载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数都将发生变化,致使霍尔电动势变化，产生温度误差。 宏观上使灵敏度系数KH及霍尔元件内阻Ri变化。 温度变化时， 恒流源：B、I一定，KHt 变化，UH变化； 恒压源：B、U i一定时， R it变化，I变化，UH亦变化。 (5-13) (5-14) (5-15) 1.采用恒流源供电和输入回路并联电阻 补偿思想 图5-10并联电阻温度补偿电路 UH不变。 温度 时，元件灵敏度系数为 ,输入电阻为 ，温度为t时，他们分别为 ， 因为 因此 分流定律 (5-16) 温度为t时 温度 时 为了使霍尔电势不随温度而变化，必须保证 (5-17) (5-18) (5-19) 将有关式代入可得 通常霍尔元件的灵敏度温度系数远小于元件的电阻温度系数，因此 (5-20) (5-21) 2．合理选取负载电阻 的阻值 使 得 (5-22) (5-23) 3．采用恒压源和输入回路串联电阻 温度升高，霍尔元件内阻增大，I减小；同时KH增大，若设计合理，可使UH基本不变。 4．采用温度补偿元件(如热敏电阻、电阻丝等) (R t+R I )不变 t↑→R t↑ R I ↑→IH不变 图5-11 采用热敏元件的温度补偿电路 t↑→R i↑ → I↓→UH0↓ t↑ →R T↓→ UH 不变。 t↑→R t↑ R I ↑→IH不变 5．霍尔元件不等位电势 的温度补偿 桥路输出电压与霍尔片输出电压差动输出。RT与霍尔片置于同一温度场。补偿温度变化造成不等位输出。 图5-12 桥路补偿电路 四、 霍尔式传感器的应用 （一） 霍尔式位移传感器 ①霍尔元件右移, Δx0，合成磁感应强度B向上,B≠0， UH0 ②霍尔元件左移，Δx0，合成磁感应强度B向下,B≠0，UH0。 图5-13 霍尔位移传感器电路 (5-24) (二)霍尔式压力传感器 图5-14 霍尔压力传感器 （三） 霍尔式转速传感器 图 示 是几种不同结构的霍尔式转速传感器。 磁性转盘的输入轴与被测转轴相连, 当被测转轴转动时, 磁性转盘随之转动, 固定在磁性转盘附近的霍尔传感器便可在每一个小磁铁通过时产生一个相应的脉冲, 检测出单位时间的脉冲数, 便可知被测转速。磁性转盘上小磁铁数目的多少决定了传感器测量转速的分辨率。 在电子水表、煤气表中作为流量检测元件。 (5-25) HR 计数器 R VCC C 3 2 1 电压基准 VCC 滞回比较 R T 霍尔片 RL U0 BP BV 组成:磁栅、磁头与检测电路。 一、磁栅 (一)磁栅的结构 图5-15 长磁栅的结构 * * 电磁感应定律 N匝线圈在磁场中运动切割磁力线或线圈所在磁场的磁通变化时，线圈中所产生的感应电动势。e的大小取决于穿过线圈的磁通 的变化率，即 (5-1) （一）恒定（磁通式） 图5-1(a) 动圈式 图5-1(b)动铁式 恒磁通式磁电传感器由永久磁铁、线圈、弹簧、金属骨架等组成。  特点： 1、磁路系统产生恒定的直流磁场。气隙不变，磁通不变。 2、磁铁与线圈之间相对切割磁力线运动。 线圈产生的感应电势为 (5-2) （二）变磁通式 又称为变磁阻式或变气隙式，常用来测量旋转物体的角速度。 1、开磁路变磁通式 图5-2 变磁通开磁路感应式传感器结构 测量过程： 测量齿轮安装在被测旋转体上，每转过一个齿，它与软铁之间的磁路的磁阻变化一次，磁通变化一次。线圈中产生感应电动势。感应电动势的频率与转速关系为： (5-3) 2、闭磁路变磁通式 被测体带动椭圆型测量轮（铁心）等速旋转。 使气隙、磁阻、磁通均周期变化，在线圈中产生感应电动式。 在一个周期内磁通变化两次，输出两个脉冲。 (5-4) 图5-3闭磁路变