电子显微成分分析中的若干问题与解决方案.PDFVIP

电子显微成分分析中的若干问题与解决方法 赛默飞世尔科技（中国）有限公司 张治忠 2014.4 杭州 材料电子显微成分分析趋势 • 1.材料高空间分辨率与低电压分析分析 • 2.材料中轻元素及低浓度元素分析 • 3. 复杂材料快速、全面完整的数据分析 2 材料高空间分辨率与低电压分析分析 • 影响X-射线空间分辨率与低电压分析的因素 • Thermo应对的解决方法 3 影响X-射线空间分辨率的因素 • 影响的主要因素:样品的密度（平均原子序数）、激发条件 4 不同样品的X-射线空间分辨率 • 电镜加速电压5KV，碳与金样品的X-射线空间分辨率对比图示 碳样品 金样品 5 Thermo应对的解决方法 • 高空间分辨率与低电压分析激发条件，探测器晶体面积、固体角、灵 敏度 固体角=面积/距离2 6 透射电镜下高分辨分析: STEM of