超精密研抛及超声波研抛技术分析!-Mipaper.PDFVIP

·’ · 现代机械) #% 年第% 期 ) ) 文章编号：!# $ %%（#% ）% $ ’ $ ( 超精密研抛及超声波研抛技术分析! 赵明利，赵波，高国富 （河南理工大学机械与动力工程学院，河南) 焦作) (’( ） 摘要：本文介绍了研抛和超精密研抛技术，分析了研抛技术的发展过程和超精密研抛技术的发展现状，列举了几种超精密 研抛方法，重点说明了超声波研抛的特点。最后分析了该技术的推广应用及其发展趋势。超精密研抛技术是提高加工表 面质量有效的加工方法，与传统的研抛方法相比大大提高了加工效率。 关键词：研磨) 抛光) 研抛技术) 超精密研抛) 超声波研抛 !#$%’ () *$+,#-.,/0’/ 1#..’2-.($’3’2 4 *$+,#(’0 1#..’2-.($’3’2 56!7 8’2-$’ ，56!7 9( ，:!7 :;(-); !+,#0+ ：-./0 12134 /564789:38 ;211/5=17;/0./5 258 9;642=143:/03 ;211/5=17;/0./5 63:.57;7 ，252;?38 6.3 83@3;71A356 7B ;21= 1/5=17;/0./5 20 C3;; 20 6.3 1430356 06263 7B 9;642=143:/03 ;211/5=17;/0./5 63:.57;7 83@3;71A356 ，258 ;/0638 07A3 A36.780 7B 9;642=143= :/03 ;211/5=17;/0./5D E6 A2/5; 3F1;2/538 6.3 :.242:634/06/: 7B 9;642075/: ;211/5=17;/0./5D G/52;; ，/6 .28 252;?38 6.3 211;/:26/75 258 6.3 83@3;71A356 :944356 7B 6./0 63:.57;7D H58 /6 843C 2 :75:;90/75 6.26 9;642=143:/03 ;211/5=17;/0./5 63:.57;7 /0 2 @2;/8 A36.78 67 /A147@3 6.3 I92;/6 7B B/5/0.38 094B2:3 ，258 /5:432038 A2:./5/5 3BB/:/35: :7A124/5 C/6. 6.3 6428/6/752; A36.78D =/% (,? ：;211/5 ；17;/0./5 ；;211/5=17;/0./5 63:.57;7 ；9;642=143:/03 ;211/5=17;/0./5 ；9;642075/: ;211/5=17;/0./5 时代发展起来的，当时，为了生产的需要（犁地，耕种等），人 @A 研抛和超精密研抛技术 们通过研磨制作表面粗糙的石器。将研抛技术应用于日常生 研磨是零件的精整和光整加工方法之一，是精密零件加 活是研抛发展的第二时期，玉石的加工和青铜镜的加工是这 工所不可缺少的工艺。所谓研磨是指将研磨液加到研具上， 一时期的标志。随着人类文明的不断进步，人们开始对未知 通过研具与工件的相对运动来进行微量加工的方法。其中研 的世界有极大的兴趣。望远镜和显微镜的发明拉开了第三时 具为具有一定刚性的硬质工具。磨料去除工件表面微量的材 期的序幕，各种光学仪器的发明、应用都对研抛技术提出挑 料，从而获得尺寸精度良好的、光滑的精加工表面。按研磨时 战，研抛加工技术在这一时期得到了飞速的发展。在研抛发 有无研磨液可把研磨工艺分为干研磨和湿研磨［!］。 展的第四时期，对工件形状精度、尺寸精度、加工后的应用能 抛光则一般不以尺寸精度和工件形状精度为加工目的， 力都有很高的要求，该时期研抛技术的进步与计算机技术和 主要