铝阳极氧化处理膜对氟离子之耐腐蚀研析Studyonthe-大叶大学.PDFVIP

科學與工程技術期刊 第十卷 第一期 民國一○三年 27 Journal of Science and Engineering Technology, Vol. 10, No. 1, pp.27-33 (2014) 鋁陽極氧化處理膜對氟離子之耐腐蝕研析 李弘彬 1 曹竣誠 2 李春穎 3 1 大葉大學材料科學與工程學系 2 大葉大學電機工程學系 51591 彰化縣大村鄉學府路 168 號 3 臺北科技大學機械工程系 10608 台北市忠孝東路三段 1 號 摘 要 本研究以 6061 鋁合金經陽極氧化表面處理後，採用四氟甲烷 （CF ）氣體進行耐腐蝕試驗， 4 及其後之處理層介電強度研析。其中鋁合金表面處理包含珠擊後（Ra 3.5μm ）陽極氧化表面處 理，與表面電解拋光整平後進行 12μm 厚陽極氧化處理及表面整平後進行 55 μm 厚陽極氧化處 理三種。實驗以硫酸、草酸及磷酸等溶液進行陽極氧化處理，結果經表面形貌觀察以硫酸浴的 孔洞約 37 nm 、以草酸浴的孔洞約70 nm ，以磷酸浴的孔洞約230 nm ，因此以硫酸溶液處理之 孔洞尺寸最為細小。所以，後段陽極氧化經採用硫酸浴處理後，再進行沸水封孔處理。將電感 耦合式電漿（ICP ）通入四氟甲烷氣體進行試片之蝕刻，隨時間增加其表面層介電強度值隨之 降低。最後，鋁合金試片經退火處理及電感耦合式電漿蝕刻之實驗結果顯示，兩者皆加速表面 處理層介電強度值下降。 關鍵詞：四氟甲烷 ，陽極封孔處理 ，介電強度。 Study on the Corrosion Resistance of Anodically Oxidized Aluminum Coating to Fluoride Ion 1 2 3 HUNG-BIN LEE , JIUN-CHEN TSAU and CHUN-YING LEE 1Department of Materials Science and Engineering, Da-Yeh University 2Department of Electrical Engineering, Da-Yeh University 168, University Rd., Dacun, Changhua 51591, Taiwan, R.O.C. 3Department of Mechanical Engineering, National Taipei University of Technol