中国电子气体的现状及未来-北京报告.pptVIP

中国电子气体的现状及未来 孙福楠 内容简介 电子气体的用途 电子气体是高科技产业重要的“源”性材料，是半导体集成电路制造过程必不可少的关键支撑材料。 在IC、LED、SOLAR CELL等生产制造的每一环节，都需要大量的电子气体或其混合物。 从某种意义上讲，没有电子气体，就没有现代高科。 随着半导体工业和微电子工业的迅猛发展，对电子气的品种、数量、质量及纯度等方面均提出了更高的要求。电子气体的纯度每提高一个数量级，都会对其下游产生巨大的影响。 电子气体的分类 按电子气用途分类 根据电子气的不同用途，可分为十多类，例如晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。 按电子气组分的性质分类 按组分的性质，电子气大致可分为三大类，即单质类气体、化合物类气体和混合物类气体。 按化学性质分类 电子气体大多属于易燃、易爆危险化学品，其性质各有不同，按照化学性质可分为四大类。 我国电子气体的现状 我国电子气体真正意义上的起步时间应该从上世纪八十年代初，至今已有30年的历史。 “六五”期间主要为配合我国微电子工业，解决电子气体有无问题，以研制开发为主，到“八五”结束后，我国自主研发的电子气体品种已有近20种。 在计划经济体制下，以光明院为代表的国内研究单位为中国电子气体的发展起到了历史性的铺垫作用，其成就至今对我们仍有很多帮助。 率先开展了电子气体的研制、分析、包装、解毒等一系列环节的基础研究，填补了我国在电子气体领域的诸多空白； 形成了许多国家标准； 培养了一大批训练有素、能够解决有毒有害气体的技术队伍。 但是，由于受到当时电子工业的限制，最初从事电子气体研发工作的只有几家单位，规模也仅限于实验室。 进入九十年代以后，随着我国IC产业的逐步发展，一些从事工业气体和其它特种气体的企业相继也开展了电子气体业务。 目前，国内具备一定生产能力的电子气体部分进入了国内4～6寸IC市场，主要气体品种有超纯氨、砷烷、硅烷、磷烷、乙硼烷、氧化亚氮、三氟化硼、三氯化硼、氯气、氯化氢、一氧化氮、二氧化碳、高纯氢、高纯氧、高纯氮、高纯氩、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、多种电子气体混合气等，占国内4～6寸IC生产用量不到10%。 国内生产的超纯氨、四氟化碳、氯气等气体产品已大量用于国内晶硅太阳能电池、光导纤维的生产。 由光明院研制开发的高纯气体纯化装置、电子气体解毒处理装置、气源柜以及部分专用阀门等也在国内部分IC企业、院校和研究院所应用。 2008年世界用于太阳能领域的硅烷为400吨，2009年则达到了1000吨，而我国粗品硅烷实际产量不到10吨。 民间资本的青睐使大量硅烷生产线投入使用，并已生产出样品。 大都采用的是我国传统的小松电子硅化镁工艺，也有的用四氟化硅还原法。 主要集中于华北（天津、保定）；江浙（南京、滁州、杭州）。 国外气体公司入驻我国做硅烷分装业务，成本和品牌优势使其产品在中国仍是主流，左右着中国硅烷的市场价格。 守住类似玻璃行业的低端用户，在艰难中寻找生存发展的机会。 以SiHCl3为原料，利用UCC工艺在中国兴建大型现代化的硅烷制造厂，彻底解决中国进口硅烷的现状； 生产电子气体的理念与国际接轨； 重视环保、安全、基础设施建设； 把包装、分析检测放到项目优先投入的位置； 发展产品现场在线控制及测试手段，缩小与国外电子气体制造业的差距。 SiF4本身就是一种电子气体 SiF4是一些磷化工生产的废气 若有条件加以回收利用，那么这种SiH4生产技术，一定有十分强的竞争力。 目前很多国家采用这种技术 据了解浙江某公司也采用类似技术在建硅烷厂 加拿大专利CA1303817、US4632816都有很好的介绍，其具体反应为： NaAlH4 + SiF4 -------- Na5Al3F14 + AlF3+ SiH4 硅烷中各种杂质对太阳能技术的影响 硅烷中各种杂质对IC技术的影响 砷烷是GaAs 、GaAsP生长，N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等过程不可缺少的基础材料。 砷烷在其它领域的用量要比IC业大许多，但因其剧毒性，进口也十分麻烦，且价格很高。 由于砷烷剧毒，要求纯度高，合成与净化的难度较大，目前能够制造砷烷的国家为数不多，我国许多厂过去曾开展过砷烷的生产。 目前，我国已经达到砷烷的合成、净化、分析测定等独立单元的技术水平，但欠缺的是规模化生产，政府审批也很棘手。 较为普遍的AsH3制备工艺是采用了十分经典的合成方法，其制备过程分为两步： 第一步是采用混合的Zn粉及As粉，在600~620度下高温合成原料，其反应为： Zn + As -------- Zn3As2