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用化学 腐蚀 的方法显示观察 了位错和 沉 淀分布 最后对 分布 不均 匀性 的起源 和热 处理 改善 分布均 匀 性 的机理进行 了讨 论 实验 样 品是从富 条件 下生长 的非有意掺杂 晶锭上切 下 的 圆片 , 热处理是在 液 相外延炉 中进 行 的 , 石 英管 内通 高纯氢气 , 样 品贴面放置 热处理 后 的冷却方 式分快冷和慢冷两种 快冷指将炉体快速 推 离石英管 , 并用 冷水直接冷却石 , , 英 管 降温速 率 快于 ℃ 慢冷是 指将 温度 以 ℃ 速 率 降至 。℃ 然 后关断 电源 , 石英管 在炉体 内 自然冷却 位 错密度 用熔体 腐蚀 后计 数蚀 坑 的方 法测量 沉淀用 腐蚀 显示观 察 浓度 用 林 波长红外吸收方法 测量 , 所用仪 器 一 一 收到 一 一 定稿 坑 腐蚀 后可观 察到样 品表 面 的线状位 错 两 种情况 下 均可 看 出位 错在微 区 内形 成 胞状 分布 结构 高位错 区形成胞 壁 , 无位 错 区形成 胞体 由图 可 看 出, 腐蚀 样 〔 品 的位 错 线上钉扎 有大量 文献 刘 报道 的那种 沉 淀 衬 攀 户嘴 姗黯 畴热狡 抓敏 谜 图 腐蚀后样 品的表面形貌 图 腐蚀后样 品的表面形貌 , 讨论 , 斗 沉 淀 的产 生 及 其讨 的 影 响 二 沉 淀 的产生 可 从 。 相 图得 以 变 小 密度应增 大 本工作所 用 徉 品 中未发 现 恤 沉淀形成前 , 沉淀形成后 无位 错 区有 沉淀 存在 这可 能是 由于这 些 区域 沉淀尺寸太 小 , 腐蚀分 辩 率不 够 高 , 未 能显示 出来 或 是 由于无位 错 区完全 处于位错 和位错线上