[四年级其它课程]透射电镜的结构.ppt

任何显微镜的用途，都是将物体“放大”，使物体上的细微部分清晰地显示出来，帮助人们观察用肉眼直接看不见的东西。 电子显微镜的发明将显微镜的分辨本领提高到纳米量级。而且发展至今，其功能也由单一的形貌观察扩展到集形貌观察、晶体结构、成分分析等于一体。 第一节 电子光学基础 一、光学显微镜的分辨本领极限 二、电子波波长 三、电磁透镜 四、电磁透镜的像差及其对分辨率的影响 五、电磁透镜的景深与焦长 一、光学显微镜的分辨本领极限 1、透镜的分辨率—衍射效应的影响 分辨率（也称分辨本领）：指显微镜能分辨的样品上（即物面上）两点间的最短距离。 一个理想的物点，经过透镜成像时，由于光的衍射效应，在像平面上形成的不是一个像点，而是一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的圆环所构成的Airy斑，如图。 1、电磁透镜的聚焦原理 运动的电子在磁场中会受到洛仑兹力的作用： 式中： —电子运动的速度矢量； —磁场强度矢量 电子在磁场中运动，当电子运动方向与磁感应强度方向不平行时，将产生一个与运动方向垂直的力（洛仑兹力）使电子运动方向发生偏转。 电磁透镜聚焦成像的基本原理，如图。 ①当电子沿线圈轴线运动时，电子运动方向与磁感应强度方向一致，电子不受力，以直线运动通过线圈； ②当电子运动偏离轴线（即以速度v平行于线圈轴进入透镜磁场时，电子受磁场力的作用，将产生三个运动分量：轴向运动（速度vz）、绕轴旋转（vt）和指向轴的运动（vr），作圆锥螺旋近轴运动，最后会聚在轴线上的一点。 电子运动的轨迹是一个圆锥螺旋曲线。 为了使线圈内的磁场强度进一步增强，再在电磁线圈内加上一对磁性材料的锥形环（如图b所示），这一装置称为极靴。 增加极靴后的磁线圈内的磁场强度可以有效地集中在狭缝周围几毫米的范围内。 带铁壳和带极靴的透镜的磁场强度分布如图（c）。 4、 电磁透镜的焦距 电磁透镜的焦距f： 表明： ①、改变激磁电流可以方便地改变电磁透镜的焦距； ②、电磁透镜的焦距总是正值，即电磁透镜不存在凹透镜，只是凸透镜。 ③、f与加速电压有关，加速电压不稳将使图像不清晰。 由于还不能象光学透镜那样通过凸透镜、凹透镜的组合设计来补偿或矫正球差，所以球差是像差影响电磁透镜分辨率的主要因素。 2、像散 像散是由透镜磁场的非轴对称引起的像差。 像散是可以消除的像差，可以通过引入一个强度和方位可调的矫正磁场来进行补偿。 电镜中产生这个矫正磁场的装置叫消像散器。 引起电子能量波动的主要原因有两个： ① 电子枪加速电压不稳，致使入射电子能量不同； ② 当电子束照射试样时，和试样相互作用，部分电子产生非弹性散射，致使能量变化。 因此，电镜通过对电子枪高压部分很高要求的电压稳定度来减小色差。 得 最佳孔径半角： 最小分辨距离： 根据这两式计算出来的最佳孔径半角α通常是10-2～10-3rad，透射电镜的分辨率只能达到0.1nm左右。 一般的电磁透镜，α=10-2～10-3rad，Df =（200～2000）Δr0。若Δr0=1nm，则Df = 200～2000nm。 景深大的实际意义：对加速电压100KV的透射电镜，当样品厚度在200nm左右时，整个样品厚度都在景深范围之内，因此，样品各部位的细节都能清晰成像。 对于由多级电磁透镜组成的透射电镜来说，其终像放大倍数等于各级透镜放大倍数之积。 因此终像的焦长就更长了，一般说来超过10～20cm是不成问题的。 电磁透镜焦长长的实际意义：给电镜图像的观察和照相带来了极大的方便。 第二节 透射电镜的结构 透射电镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 透射电镜的组成：由电子光学系统、电源与控制系统、真空系统三部分组成。 其中电子光学系统是透射电镜的核心，将作重点介绍。 一、电子光学系统 电子光学系统是一种积木式的直立结构,如图。 分为三部分：照明系统、成像系统和观察记录系统。 其中成像系统是电子光学部分最核心的部分。 透射电镜的工作过程： 电子从透射电镜最上面的电子枪发射出来。 发射出的电子在加速管内被加速，通过照明系统的电子透镜照射到试样上。 透过试样的电子被成像系统的电子透镜放大、成像。 从观察室的窗口可以观察像，也可将观察到的像用照片或其他形式记录下来。 热阴极钨丝电子枪的组成： 由发夹形钨丝阴极、栅极帽(又称控制极)和阳极组成，如图。 在控制极和阳极之间的某一位置，电子束会聚成一