外加电场极化法制备LiNbO3周期性畴反转的工艺研究.PDFVIP

第 21 卷 　第 5 期 光 　学 　学 　报 Vol. 21 ,No. 5 2001 年 5 月 　　　　　　　　　　　　　　 　　　　 　　　　 　　　　　　 May , 2001 ACTA OPTICA SINICA 文章编号 : (2001) 外加电场极化法制备 LiNbO3 周期性畴反转 的工艺研究 陈云琳1) 　许京军1) 　宋 　峰1) 　张光寅1) 　倪文俊2) 　李世忱2) 1) , 南开大学物理学院光子学中心 , 天津 300071 2) , 天津大学精密仪器与光电子工程学院 , 天津 300072 ( ) 摘要 : 　对用外加电场极化法实现铁电畴周期性极化反转LiNbO3 晶体 PPLN 的工艺进行了研究 ,首先采用光刻工 艺技术在 Z 切厚度为 05 mm 的LiNbO3 晶体的正畴面和负畴面上刻蚀出与掩膜板完全对应的金属Al 电极,然后在 两电极上施加一系列的脉冲电压 ;在实验研究中 ,通过控制脉冲幅度、脉冲宽度、脉冲个数和脉冲电流 ,确定了最佳 μ 实验参量 ,并成功地制备出了周期为 95 m 的三阶准相位匹配铁电畴周期性极化反转LiNbO3 晶体。 ( ) 关键词 : 　LiNbO3 晶体; 周期性极化反转LiNbO3 晶体 PPLN ; 准相位匹配 中图分类号: O731 　　　文献标识码 : A ( ) [6～8 ,13～15 ] 1 　引　　言 极化反转 PPLN 的研究 。本文报道了运用 外加电场极化法在 05 mm 厚的 Z 切LiNbO3 上制备 [1 ] 早在 1962 年 ,Armstrong 等人 首次提出了准相 周期性极化LiNbO3 铁电畴反转的研究。 位匹配技术 ,并应用此技术对体材料进行光倍频、光 参量振荡等过程的研究。采用体材料准相位匹配非 线性过程的铁电畴周期性极化反转结构可以补偿光 2 　制备周期性极化反转 LiNbO3 晶体 波间的相位失配。自 90 年代初以来 ,人们研究出了 工艺的实验研究 许多新技术、新工艺来实现铁电体的铁电畴周期性 将所选用的已单畴化了的 Z 切 LiNbO3 晶体进 极化反转 , 主要有 : 扩 Ti 法、Li O 外扩散法、喷镀 2 行清洗 ,在清洗后的LiNbO3 晶体的 - Z 面进行金属 SiO 加热法、质子交换诱发法、电子束扫描法和外加 2 [2～9 ]