应用於压电致动器之单纯位置回授适应性步阶回归-中央大学电机系.PDFVIP

應用於壓電致動器之單純位置回授應用於壓電致動器之單純位置回授 應用於壓電致動器之單純位置回授應用於壓電致動器之單純位置回授 適應性步階迴歸控制器適應性步階迴歸控制器 適應性步階迴歸控制器適應性步階迴歸控制器 黃柏凱 謝欣然 林法正 國立東華大學 電機工程學系 花蓮縣壽豐鄉志學村大學路二段一號 TEL: 03-8634061 FAX: 03-8634060 摘要摘要 ：本文設計一單純位置回授之適應性步階迴歸控制器以控制壓電致動器達成微定位控制： 。首 摘要摘要 ：： 先將利用磁滯摩擦力模型建立一完整之壓電致動器動態模型，其中之總集不確定項包含壓電致動 器之磁滯現象 、外力干擾及參數變化。為了克服磁滯現象造成之非線性以達到良好之追隨響應， 將設計一動態濾波器以補償磁滯現象所造成之非線性 ，並取代總集不確定項中不可量測的狀態， 而達到單純位置回授。然後根據系統動態模型並配合動態濾波器發展一適應性步階迴歸位置控制 器，用以估測系統動態模型中之總集不確定項 ，使系統在磁滯現象、外力干擾及參數變化等不確 定項之影響下仍具強健性 。最後將利用週期性參考軌跡實測以驗證上述控制器之性能 。 關鍵字關鍵字 ： ： 壓電致動器 、適應性步階迴歸位置控制器、磁滯摩擦力模型、動態濾波器、總集不確 關鍵字關鍵字 ：： 定項 1 簡簡 介介 簡簡 介介 近年來 ，由於壓電致動器擁有奈米級移動精度、高保持轉矩及快速響應等優點，所以廣泛應 用於需高精密度位移之工業應用上 。但是壓電致動器之材質多為陶瓷鐵心所以會有磁滯現象產 生，也因此造成壓電致動器在開迴路控制下系統不穩定及位移不精確[1,2] ，且壓電致動器之磁滯 現象通常未知且其系統動態模型難以建立 [1-8] ，因此增加了壓電致動器微 定位控制之困難度 [3,4] 。 壓電致動器動態模型之建立已在文獻 中提出 。然而，文獻 中所提出之動態模型大多 [5-8] [5-8] 基於機械理論而推導出一連串複雜之數學公式，這些複雜之數學公式將增加系統求解與實際上應 用之困難 ，所以本文利用 表示磁滯效應所造成之磁滯現象以建立一具有磁滯摩擦 Preisach model 力之系統動態模型[4,9-12] ，進而達到壓電致動器的完整數學建模 ，以利壓電控制系統上的分析、 研究以及應用設計 。再者，發展一適應控制器以調整適應性參數與未知之磁滯現象 。為了達 [13] 到高性能之壓電致動器微定位控制 ，一般方法多為補償磁滯效應所造成之非線性 。在文獻 [14-22] 中則利用觀測器對系統動態與磁滯現象做估測補償 。本文則利用動態濾波器補償非線性磁 [17-22] 滯效應 ，以取代總集不確定項中不可量測的狀態，並結合上述之適應控制器以達到在磁滯現象 、 外力干擾及參數變化等不確定項之影響下仍具強健性 ，進而發展一高性能壓電致動器微定位控制 系統 。 本文主要分為六個部分依序介紹。第一部分為簡介；第二部分將介紹基於磁滯摩擦力之壓電 致動器動態模型推導 ；第三部分介紹補償磁滯現象之動態濾波器設計方法與其收斂；第四部分將 設計適應性步階迴歸控制器以發展具強健性之壓電致動器微定位 控制系統，並利用