[教育]第3章电容式传感器.ppt

1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 主要讨论球、平面型差动电容压力传感器。 1—高压侧进气口 2—低压侧进气口 3—过滤片 4—空腔 5—柔性不锈钢波 纹隔离膜片(测量膜片) 6—导压硅油 7— 凹形玻璃圆片 8—镀金凹形电极 9—弹性平膜片(感压膜片) 10—? 腔 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 主要讨论球、平面型差动电容压力传感器。 凸玻璃圆片 弹性膜片(动电极) 固定电极 PL PH 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 当PH=PL时，中心膜片处于平直状态，膜片两侧电容均为C0； 当PHPL时，中心膜片上凸，上部电容为CL，下部电容为CH。 CH 相当于当前膜片位置与平直位置间的电容CA和C0的串联；而C0又可看成是膜片上部电容CL与的CA串联。 dx d0 CA CL CH C0 PH PL CA CL CH C0 C0 CA 等效电路 1. 电容式差压变送器 3.4 电容式传感器的应用 dx d0 CA CL CH C0 PH PL CA CL CH C0 C0 CA 等效电路 即： 需要解决的问题是：中心膜片处于平直状态时，C0=C(d0)=?；当PHPL模片上凸db时，CA=C(dx)=?。 1. 电容式差压变送器