电子显微与探针相关技术5.ppt

第四章?????扫描探针显微镜 引言 所谓扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscopy SPM）是用一尖锐的传感器探针在样品表面上方扫描，通过“感触”来检测样品表面性质，并不用物镜来成像，这是与其他显微镜最主要的区别。 扫描探针显微镜是一个显微镜的大家族，其中第一个成员是扫描隧道显微镜(STM) 它是IBM的G. Binning和H. Rohrer博士及其同事于1982年发明的. 受扫描隧道显微镜工作原理的启发，人们又研制出一系列工作原理相类似的显微镜， 例如： 原子力显微镜（AFM） 磁力显微镜（MFM） 摩擦力显微镜（LFM） 化学力显微镜（CFM） 静电力显微镜（EFM） 我们主要介绍STM与AFM 1.??扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜STM（Scanning Tunneling Microscopy ） 是IBM苏黎世实验室的G. Binning和H.Rohrer博士及其同事发明的。 STM的研制工作始于1978年 STM实验可以在大气、真空、溶液、惰性气体甚至反应性气体等各种环境中进行. 工作温度可以从绝对零度到摄氏几百度。 用途广泛： （1）可用于原子级空间分辨率的表面结构观测，用于研究各种