[工学]硕士学位论文-红光OLED器件有机薄膜工艺研究.doc

分类号 UDC 密 级 学 号 0908090563 硕士学位论文 红光OLED器件有机薄膜工艺研究 学 科 门 类： 工 学 学 科 名 称： 微电子学与固体电子学 指 导 教 师： 申 请 日 期： 论文题目：红光OLED器件有机薄膜工艺研究 学科名称：微电子学与固体电子学 研 究 生： 签 名： 指导教师： 签 名： 摘 要 有机发光二极管（OLED）具有超轻、超薄、高亮度、低功耗、可弯曲、清晰度高、可视角度大、抗震性能好、响应速度快、成本低、像素本身发光等优点，OLED的显著优点使其成为继LCD出现的又一显示行业的耀眼明星。随着国外OLED快速发展与影响，国内部分研究所、高校以及显示器行业的公司都正在致力于OLED的研究。红光OLED被认为是目前在有机红、绿、蓝三基色显示中最薄弱的一环，因为红色发光的跃迁都是能隙较小的跃迁，很难与载流子传输层的能量匹配，因而不能有效地使电子和空穴在发光区复合。课题主要对红光OLED进行实验研究，预期得到发光性能良好的红光OLED结构，为以后此类研究提供一定的参考。 实验主要使用科特真空机电设备厂生产的高真空有机／金属热蒸发（OLED）镀膜设备，采用真空蒸镀的方法，在ITO玻璃上依次蒸镀空穴注入材料2-TNATA、空穴传输材料NPB、发光层材料AlQ:DCJTB、电子传输材料AlQ、电子注入材料LiF以及阴极材料Al，完成绿光和红光器件的制备，通过实验确定各个功能层的工艺条件，并制作绿光和红光OLED器件，研究各功能层参数对器件发光性能的影响。实验研究内容主要包括：(1) 红光OLED器件基本结构设计；(2) 器件各功能层材料蒸镀工艺条件的实验研究；(3) 空穴注入层2-TNATA、电子注入层LiF以及发光层AlQ厚度对绿光OLED器件发光性能的影响；(4) 发光层掺杂DCJTB浓度对红光OLED器件发光性能的影响。最终，经过对所制作器件的性能测试与原理分析得到红光OLED器件的优化结构为：ITO/2-TNATA(20nm)/NPB(30nm) /AlQ:2.5%DCJTB(50nm)/AlQ(30nm)/LiF(0.8nm)/Al(100nm) 关键词：红光OLED；载流子注入层；发光层；工艺研究 Title: Major：Microelectronics and Solid Electronics Name：Jingbiao Nan Signature: Supervisor：Associate prof. Tao An Signature: Abstract Organic light-emitting diode (OLED) with lightweight, ultra-thin, high brightness, viewing angle, response speed, high-definition, low power consumption, excellent seismic performance, flexible, low manufacturing cost, pixel luminous, etc. OLEDs advantages make it to be a bright star, following LCD appears in the display industry. With the rapid development and impact of OLED abroad, part of the institutes, universities, the display industries and companies are committed to OLED research in China. Because red light-emitting transitions are able to match the smaller gap transition, it is difficult to match the energy of carrier transport layer, and thus it makes the electron and hole a not effective recombi