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光束線技術研發 中能量主動式光柵光束線設計 全國利用軟X光研究的用戶不斷增加，目前可提供的光束時間已漸不敷使用，為了因應此需求的增 長，本中心將於BL08B偏轉磁鐵（Bending Magnet, BM）出口增建一全新中能量範圍（300 - 1000 eV） 光束線。本文主要介紹此光束線之光學設計與功能評估，以及使用主動式光柵的優點。 馮學深、喻霽陽、黃良仁、曾金榮、鍾世俊（光束線組） 前言 主動式光柵（Active Grating， AG） 本中心目前可提供軟X光給用戶進行實驗的偏轉 圖一是曲面光柵分光之幾何示意圖。傳統「龍」 磁鐵光束線共有BL11A （Dragon ），BL20A （HSGM ） 型光束線所用之球面光柵分光儀（SGM ），其曲率半 及BL24A （WR ）三條光束線。這些光束線所提供能區 徑是固定的。在能量掃描時，成像距離ρ會隨之改變， 之光子，可用來激發大多數物質之內殼層電子，對很 故需移動出光狹縫位置，以維持光束線之解析力及光 多研究領域，磁學、材料學而言是非常有用之工具。 通量。但這樣仍然無法去除所有能區較高次之像差項： 而目前此三條光束線之使用量已達飽和，為求提供用 如彗星像差（Coma aberration ），以致無法充分提高 戶有充裕之光束線使用時段，本中心決定在BL08B出 解析力。 光口新建一條中能量之光束線，以紓解光束時間不敷 為了提升分光儀之功能，本中心機械定位小組與 使用之壓力。經過相關用戶多次討論後，確認目前用 光柵供應商共同研發製造性能特殊之主動式光柵。相 戶最需要之能量範圍為300 - 1000 eV 。經本組初步設 對於傳統SGM ，主動式光柵分光儀（AGM ）乃利用高 計評估，認為建造一條新的「龍」型光束線，並以新 精密調整機制，令光柵在能量掃描時，能調整其表面 近開發的主動式光柵取代球面光柵，不但可以滿足用 曲率至最佳之工作條件：焦距，像差等。本中心已完 [1-3] 成主動式光柵之調變機構，經實際測量，其結果顯示 戶需求，更能提昇光束線之功能 。 [4,5] 此機構能精確的控制鏡面之曲率半徑 ，鏡面之型 狀以方程式ξ(w) = aw2 + bw3 之方式調變，ξ為鏡面 2 圖一 曲面光柵分光之幾何示意圖。一般之球面光柵，鏡面方程P(w,ξ)可表為ξ(w) = aw ，a為常數。 而主動式光柵ξ(w) = aw2 + bw3 ，而且在一定範圍內a及b皆可調。 國家同步輻射研究中心簡訊　　21 光束線技術研發 高度，w為光行進在光柵上之分量（如圖一所示）。 能量在400 eV以上，SGM及AGM之解析力相當， 依據光學聚焦公式，a參數決定鏡面之曲率半徑，b參 且皆隨能量增加而下降，這是由於狹縫及光柵的 數可修正彗星像差。 slope error所造成的。而在小於400 eV的低能量區， 主動式光柵之應用可帶來如下優點︰ （一）由於 AGM之解析力明顯較SGM好，主要