人射光束角度及强度偏差对多光束干涉光刻结果的影响.pdfVIP

４４ １０ 　 　 　 Ｖｏｌ．４４Ｎｏ．１０ 　　　　　　　　　　　　 ２０１５ １０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｏｃｔｏｂｅｒ２０１５ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ１０１１００３ ｇ ， ， ， ， ， ， ， （ ， ） ７１００２１ ： ， 、 、 　 ， ， ： ； ． ， ． ４０２ｎｍ ． ３２ｍＷ ， 、 ， 、 １６° １．４ ｍ μ ， １．７ ｍ ． μ ， ， ． ： ； ； ； ； ； ： ； ： ： （ ） ＴＮ３０５．７ ＴＮ２４１ Ａ １００４４２１３２０１５１０１０１１００３７ 　　　 　　　 犐狀犳犾狌犲狀犮犲狅狀犘犪狋狋犲狉狀狊 狌犪犾犻狋狅犳犕狌犾狋犻犫犲犪犿犐狀狋犲狉犳犲狉犲狀犮犲犔犻狋犺狅狉犪犺 犙 狔