第三章特种纳米制造技术2学时wdb.ppt

3.1 特种纳米加工简介3.1.1 常规尺度下的传统加工(切削加工)与特种加工3.1.2 纳米尺度下的传统加工与特种加工 3.2 电子束加工技术 3.3 离子束加工技术 3.4 电化学加工技术 3.1.1 常规尺度下的传统加工(切削加工)与特种加工 切削加工的本质特点：(1) 刀具硬度 工件硬度；(2) 靠机械能切除工件上的多余材料。 切削加工的种类：车、铣、刨、磨、钻等。 特种加工的本质特点：(1) 主要依靠能量：电、化学、光、声、热，次要依靠：机械能；(2) 工具硬度 工件硬度，甚至可以没有工具；(3) 不存在显著的机械切削力。 特种加工的种类：电火花、电化学、超声、激光、电子束、离子束、快速成形、等离子体、化学、磨料流、水射流、微弧氧化等。 3.1.2 纳米尺度下的传统加工与特种加工 传统纳米加工的种类：基于SPM的纳米加工（STM、AFM）、自组装纳米制造、LIGA纳米制造等。 注：SPM——扫描探针显微镜、STM——扫描隧道显微镜、AFM——原子力显微镜 特种纳米加工的种类：电子束、离子束、电化学 3.1 特种纳米加工简介 3.2 电子束加工技术3.2.1 电子束加工的原理3.2.2 电子束加工的特点3.2.3 电子束加工的应用 1. 电子束加工分类 2. 电子束热微细加工 3. 电子束化学微细