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多层膜Laue透镜对10keV硬X射线聚焦性能的理论计算-光学仪器.PDF

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多层膜Laue透镜对10keV硬X射线聚焦性能的理论计算-光学仪器

第 卷 第 期 光 学 仪 器 , 37 6 Vol.37No.6         年 月 , 2015 12 OPTICALINSTRUMENTS December2015 文章编号: ( ) 10055630201506053506    多层膜 透镜对 硬 射线聚焦性能的 Laue 10keV X 理论计算 成丽华,李浩川,岳帅鹏 (同济大学 物理科学与工程学院,上海 200092)   摘要:采用 / 材料组合设计多层膜 透镜,总膜厚为 ,利用衍射动力学理论分析 NbCSi Laue 40 m μ 多层膜 透镜对硬 射线的衍射效率及聚焦分辨率。通过两种方法提高多层膜 透镜 Laue X Laue 的分辨率。第一种方式是减小膜层的最外层宽度,该方法要求结构必须是楔型结构,制备极其 困难。第二种方法是使用多层膜Laue透镜的高级次,该方法在不增加制备难题的前提下能有 效提高分辨率。通过使用多层膜 透镜的 级次,对 硬 射线获得了分辨率为 Laue -3 10keV X 6.72nm,衍射效率为49.31%的聚焦光斑。 关键词: 射线;多层膜 透镜;衍射动力学;衍射效率;高级次 X Laue 中图分类号: 文献标志码: : / O434 A 犱狅犻10.3969.issn.10055630.2015.06.014     j 犆犪犾犮狌犾犪狋犻狅狀狅狀犳狅犮狌狊犻狀 犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲狅犳犺犪狉犱犡狉犪 犵狆 狔 犿狌犾狋犻犾犪犲狉犔犪狌犲犾犲狀狊狑犻狋犺10犽犲犞犡狉犪 狔 狔 , , 犆犎犈犖犌犔犻犺狌犪 犔犐犎犪狅犮犺狌犪狀 犢犝犈犛犺狌犪犻犲狀 狆 犵 ( , ,

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