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第三节 电感式传感器 一、自感式传感器 一、自感式传感器 一、自感式传感器 一、自感式传感器 一、自感式传感器 一、自感式传感器 二、互感式传感器 二、互感式传感器 二、互感式传感器 二、互感式传感器 三、电涡流式传感器 三、电涡流式传感器 四、应用举例 第四节 磁电感应式传感器 第四节 磁电感应式传感器 第四节 磁电感应式传感器 第五节 霍尔传感器 第五节 霍尔传感器 第五节 霍尔传感器 第五节 霍尔传感器 第五节 霍尔传感器 第五节 霍尔传感器 第五节 霍尔传感器 * 工作原理：利用线圈自感和互感的变化实现测量 感测量：位移、振动、压力、应变、流量、比重等。 种类：根据转换原理，分自感式和互感式两种； 优点： ①结构简单、可靠 ②分辨力高 机械位移：0.1μm，甚至更小；角位移：0.1角秒。 输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。 ③重复性好，线性度优良 在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定 不足：存在交流零位信号，不宜于高频动态测量。 （一）工作原理 x 1 2 3 S 以变气隙式为例，分析其特性 x 1 2 3 S 初始时， 当x减小?x时，L增加? L，即 线性不理想 量程与线性矛盾 x L ΔL1 ΔL2 L0 x0 采用差动接法可以在一定程度上解决上述矛盾 x x L1 L2 75 50 25 0 50 75 100 L/mH lδ/mm 100 25 LD 4 3 2 1 Ⅰ Ⅱ 1 2 3 4 -Δ lδ Δ lδ 1 线圈Ⅰ自感特性； 2 线圈Ⅱ自感特性；3 线圈Ⅰ与Ⅱ差动自感特性；4 特性曲线 USC L2 R4 L1 Z3 E 螺管型自感式传感器：有单线圈和差动式两种结构形式 r x l 1.0 0.8 0.6 0.4 0.2 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 H（ ） IN l x（l） 2lc Δlc 2l 线圈Ⅱ 线圈Ⅰ r 0.8 0.6 0.4 0.2 0.2 0.4 0.6 0.8 -0.8 0.8 0.4 1.2 -1.2 -0.4 x H（ ） IN l x(l) 特点： ①结构简单，制造装配容易； ②线性范围大； ③由于磁路大部分为空气，易受外部磁场干扰 （二）测量电路 自感式传感器等效电路 Rc铜损电阻 Re铁损电阻 C 寄生电容 C L Rc Re 1、电阻平衡臂交流电桥 ZL R1 R2 Z2 Z1 L1 L2 RS1 RS2 USC E 电阻平衡臂交流电桥是自感传感器的主要测量电路，为了提高灵敏度，改善线性度，自感线圈一般接成差动形式 2、变压器电桥 Z1 Z2 E/2 E/2 E I USC 3、紧耦合臂电桥 M L L Z 1 Z 2 U 0 ． U ． （一）工作原理 与变压器原理相似 i1 ~ e2 M M为比例系数，称为互感系数，表示两个线圈之间的耦合程度。 磁路发生变化（ ?x，?S）时，M发生变化，e2发生变化。 一般都做成差动接法，次级有两个线圈，反向串联，也称差动变压器式传感器。 衔铁 N1 N21 N22 USC N21 N22 ～ N1 螺管式差动变压器 等效电路 （二）误差及补偿： 非线性误差、温度误差、零点残余电压 定义：当差动变压器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为零。但实际上，在零点仍有一个微小的电压值(从零点几mV到数十mV)存在，称为零点残余电压。 0 e2 x -x e20 危害：零点残余电压的存在造成零点附近的不灵敏区；零点残余电压输入放大器内会使放大器末级趋向饱和，影响电路正常工作等。 产生原因：两个次级线圈磁路及几何参数不一致；线圈之间以及与外壳之间存在分布电容。 补偿措施：设计时，尽量保证对称；采用线路补偿方法。 ～ e1 e2 C R ～ e1 e2 L R W 调相位式残余电压补偿电路 （一）工作原理 被测导体 线圈 H 1 H 2 h I 1 · I 2 · M R1 L 2 L 1 U 1 I 1 · I 2 · R2 （二）测量电路：与自感式传感器相似 （三）应用 模拟量输出 开关量输出 一、焊缝自动跟踪的必要性 二、设计要求 能够检测焊枪与焊缝的水平偏差 能够检测焊枪高度变化 三、方案 互感式传感器原理 四、特点 一、工作原理