金属溅射薄膜压力传感器.pdf

衡阳鸿大特钟钢管股份有限公司 金属溅射薄膜压力传感器 传感器 技术 2016-11-3 1 目录 • 传感器市场分析 • 压力传感器市场分析 • 溅射膜压力传感器的典型结构 • 溅射膜压力传感器的原理 • 溅射膜压力传感器的目标市场分析 • 溅射膜压力传感器的关键技术 2016-11-3 2 传感器市场分析 国内传感器每年的市场规模在1300亿左右，并且以每年20%的速度增长。工业 及汽车电子产品、通信电子产品、消费电子产品和专用设备是传感器主要应用的 四大领域，其中工业及汽车电子产品领域规模最大，占市场份额的40%左右。按照 国际分类标准看，流量传感器、压力传感器、温度传感器的市场规模最大，传感 器市场占有率分别为21%、19%和14%左右。整个压力传感器的市场规模在200多亿。 传感器市场份额 传感器市场份额 工业和汽车 其他 流量传感器 压力传感器 温度传感器 其他 21% 40% 46% 19% 60% 14% 2016-11-3 3 压力传感器市场分析 压力传感器的市场规模在200多亿。目前市场上常用的压力传感器，按生产工艺 分有： 1，半导体扩散硅压力传感器； 2，应变片式压力传感器； 3，溅射薄膜压力传感器。 半导体扩散硅压力传感器是目前应用最广的压力传感器。 产品优点： 适于大批量生产、成本低、输出大、适于微压、低压品种； 产品缺点： 1，由于它的敏感电阻是由半导体硅扩散而成，因此它的电阻温度系数极差，当温 度超过85℃温度补偿非常困难，低于-45℃时扩散硅的电阻率变化及大且无规律，无法 满足环境耐温要求； 2，由于半导体硅的易脆性以及采用隔离膜充硅油封装的原因，产品不能抗高强度 的震动和冲击，频率响应也较低。 而溅射薄膜式压力传感器一大突出特点是受温度影响小。在温度变化100℃时，零 点漂移仅为0.5%。其温度性能远优于扩散硅式压力传感器。所以溅射薄膜式压力传感 器将逐步取代扩散硅式压力传感器。 2016-11-3 4 溅射膜压力传感器的典型结构 溅射膜压力传感器的典型结构示意图如图1所示，产品由基座、弹性敏感元件（芯 体）、引线支架、真空密封连接器、信号处理电路和电器连接器等组成。 图1 溅射膜压力变送器的典型结构示意图 2016-11-3 5 溅射膜压力传感器的原理 溅射膜压力传感器芯体的原理如图2所示，流体压力P作用在不锈钢弹性膜片上 ,使 膜片产生变形 ,采用离子束溅射和刻蚀技术在膜片上制作了组成电桥的薄膜电阻, 膜 片变形使