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与检测第五章

激光传感与检测技术;一、激光概述 1、 激光是利用外部能源激励物质,使其发生受激辐 射而产生的一种特殊的光。 2 、工作物质: 任何光学透明的固体、液体、气体 3 、激励能源: 光源、电源、热源、化学能源 4 、光学谐振腔;;光学谐振腔;He-Ne激光器的工作原理;二、激光的特点 1、 方向性好 2 、亮度高 3 、单色性好 4 、相干性好;三、激光的种类 1、 固体激光器 2 、气体激光器 3 、液体激光器 4 、半导体激光器 ;;被测光学元件的表面形貌图;激光面形测量仪 ;激光平面干涉仪;;;;由多元函数极值原理可知,通过求取minQ(a0,a1,a2,a3)确定系数a0,a1,a2,a3后,就可得到较平滑的、连续的暗条纹的中心线;面形偏差的定义可知:被检光学表面相对于参考光学表面的偏差称面形偏差,即光圈。 ;2. 激光平面干涉测量装置的设计 ;3. 光学元件面形检测软件系统设计;;;;;;;

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