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绝对距离测量技术综述陈艳赵洋(清华大学精仪系100084)摘要:本文从非相干测量和干涉测量两方面综述了绝对距离测量技术方法。重点介绍了干涉测量法中的半导体激光调频干涉测量技术在绝对距离测量中的一些新应用和新方法。关键词:绝对距离测量调频激光干涉测量一、引言绝对距离测量技术区别于相对位移测量的主要特征是在测量过程中无需借助导轨,距离测量又称为无导轨测量。绝对距离测量方法主要包括非相干测量法和干涉测量法。因此绝对脉冲法非相干测量位相差法拍波法外差法超外差法绝对距离测量多波长干涉测量干涉测量三角波调频线性调频调频干涉测量正弦调频移相法锯齿波调频二、非相干测量法非相干测量法也称为飞行时间测量法,主要有脉冲测距法和相位差测距法1。脉冲测距法是,测量仪器发出一个短脉冲信号,该信号经目标点反射返回,在经过了两倍的待测距离后被仪器重新接收。通过测量从发射到接收到同一脉冲信号的时间间隔t,可以获得距离值L=ct?2,其中c为光速。相位差测量法是,测距仪对激光进行强度调制,通过测量调制光波往返被测距离一次所产生的相位延迟确定往返时间t,从而得到这一相位延迟所代表的距离值。它们的最大分辨率分别取决于时间分辨率和对应于最高调制频率的相位分辨率。飞行时间测量法具有毫米量级的分辨率2。3三、绝对距离干涉测量法绝对距离干涉测量法可分为多波长激光干涉测量法和调频激光干涉测量法两类。多波长激光干涉测量技术的基本原理是小数重复合法3以及在其上发展的合成波长概念。多波长干涉测量法主要有拍波法、外差干涉测量法和超外差干涉测量法三种。拍波法、外差法3、4的测量基本原理为,两束不同频率的单色光波外差干涉,产生的合成波的2Π光强正比于2A21+cos(Ξ1-Ξ2)t-,其中A为振幅(设两束光振幅相等),Ξ1、Ξ2为光波ΚSZΚ1Κ25、6Κ|即为合成波长。超外差法为,两束不同频率的光(Τ1、Τ2)先分频率,z为被测距离,而ΚS=|Κ-12别经AOM1(驱动频率为f1)和AOM2(驱动频率为f2)频移得到频率为(Τ1+f1)和(Τ2+f2)的光波,然后频率为Τ1和(Τ1+f1)的光以及频率为Τ2和(Τ2+f2)的光分别产生外差干涉,两外差信号再迭加,产生超外差干涉信号。超外差干涉信号经整流和低通滤波后可得:Id=Α12cos2Π(f1-f2)tΚΚ4Πl,+=12+1-2,其中(f1-f2)为超外差频率;l为被测距离;1-2=为合成波长。可以+|Κ1-Κ2|看出,外差干涉信号及超外差干涉信号的相位中包含了待测距离信息,而且相位的周期性由合成波长确定。测量相位(条纹小数级次)的途径主要有两种:一是移动参考镜补偿光程差寻找拍波零点,测出该位移用ΚS?2去除,其结果即为对应波长ΚS的小数级次(拍波法)。二是用比相的方法直接测量小数级次(外差法、超外差法)。后者的精度较高。由于超外差法的拍频(f1-f2)对于不同的测量光波频率而言是一个可以根据需要选择的定值,因此当改变两测量光波的频差以求得到不同的测量范围时,后续信号处理系统无需跟着改变,这是超外差法的一个优点。调频激光干涉测量技术7的基本原理为,通过连续调制单纵模激光器的激光频率,使得臂长差不为零的迈克尔逊干涉仪中两相干光波的相位差周期性变化,形成光拍,因此既使干涉仪保持静止状态也可以输出交变光电信号,并从信号中提取包含被测长度的信息,实现绝对距离测量。应用于这种方法的激光器主要是半导体激光器。根据对半导体激光器激光频率的调制方式的不同,调频激光干涉测量方法可分为三种:线性调频法(包括三角波调频和锯齿波调频),正弦调频法和移相法。图1为1989年清华大学博士生徐勇研制的半导体激光器大尺寸绝对距离测量系统7。采用三角波电流调制半导体激光器,调频范围为165GHz。如图2所示,激光调频输出为f(t)=f0±Βt,其中f0为调频激光中心频率,Β为激光频率调制系数。fm=1?Tm为电流调制频率。由参考臂CCP1返回的参考光波(实线)与由测量臂CCP2返回的延迟光波(虚线)迭加发生干涉。在三角波上升沿范围内,f(t)=f0+Βt,合成波光强为I∝I0cos[(2Π(ΒΣdt+f0Σd);在三角波下降沿范围内,f(t)=f0-Βt,合成波光强为,I∝I0cos[(2Π(ΒΣdt-f0Σd),其中Σd=2d?c为光波2d延迟时间,d为被测距离,c为光速。通过测量拍频fb=ΒΣd=2fm?f,可得被测距离d=ccfb4fm?f。该系统的最大测距范围为1175m,测量精度为011～013mm。在此基础上,1994年清华大学武勇军研制了外腔半导体激光绝对距离干涉测量仪8。采用如图3所示的平面镜外腔半导体激光器作为系统的可调谐光源。通过压电陶瓷PZT改变腔长,实现外腔长调频。当用三角波电压驱动压电陶瓷管时,外腔半导体激光器的输出光频率也呈三角波形规4