CN106990120-CN201710300938-一种太阳能电池片的质量检测方法及其检测装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 106990120 A (43)申请公布日 2017.07.28 (21)申请号 201710300938.9 (22)申请日 2017.05.02 (71)申请人 河北大学 地址 071002 河北省保定市五四东路180号 河北大学 申请人 苏州光环科技有限公司 (72)发明人 苏亚　姚晓天　刘会清　 (74)专利代理机构 石家庄国域专利商标事务所 有限公司 13112 代理人 苏艳肃 (51)Int.Cl. G01N 21/958(2006.01) H02S 50/15(2014.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种太阳能电池片的质量检测方法及其检 测装置 (57)摘要 本发明提供了一种太阳能电池片的质量检 测方法及其检测装置，该方法利用检测装置对待 测电池片进行扫描，得到电池片的OCT三维图像； 然后对所得OCT三维图像进行观察或处理得到电 池片的外观特征、缺陷位置、厚度、栅线电极尺寸 以及电池片陷光能力等信息，可实现对太阳能电 池片的无接触、无损伤在线实时检测。本发明检 测更加全面，只靠单一检测方法和装置就能实现 多项参数的检测，大大降低了检测成本，同时可 检测生产线各阶段的半成品质量，为各工艺流程 生产提供参考指标。 A 0 2 1 0 9 9 6 0 1 N C CN 106990120 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种太阳能电池片的质量检测方法，其特征在于，包括以下步骤： ①利用检测装置对待测电池片进行扫描，得到电池片的OCT三维图像；所述检测装置包 括OCT检测系统，所述OCT检测系统采用硅片不能吸收的近红外光源； ②对所得OCT三维图像进行观察或处理得到电池片的质量参数： （a）获得电池片的缺陷、杂质参数：观察OCT三维图像，纯净的晶体硅在图像中是透明 的，但缺陷和杂质会引起散射或吸收而呈现为亮斑或亮线，通过直接观察获得电池片的缺 陷、杂质参数； （b）获得电池片的厚度、曲翘度及电池栅极参数：由OCT三维图像观察电池片的上下表 面结构，直接得到电池片表面蒸镀和断栅情况； 通过边界微分算子得到硅片的上下表面位置，并根据像素得到硅片在OCT三维图像上 的高度值h1，再由硅片在红外波段的折射率n得到硅片的厚度h=h1/n，根据硅片的厚度并通 过比例尺得到相邻两条栅线电极的间距以及每条栅线电极的宽度和高度； 根据硅片的上下表面位置得其中心面位置，然后根据像素求得沿水平方向不同区域中 心面间的最大垂直距离即为电池片的曲翘度； （c）获得电池片陷光能力参数：将电池片的OCT三维图像沿深度方向进行平均，得到纵 向的一维平均光强值，用电池片上表面的光强值来表征电池片的陷光能力，电池片上表面 的光强值与电池片的陷光能力成反比。 2.根据权利要求1所述的太阳能电池片的质量检测方法，其特征在于，所述获得电池片 的缺陷参数包括获得电池片的表面和内部隐裂情况信息。 3.根据权利要求1所述的太阳能电池片的质量检测方法，其特征在于，在检测电池片陷 光能力时，对原硅片、制绒片、扩散片和蒸镀减反射膜后的晶片进行检测，得到不同工艺阶 段的电池片的陷光能力。 4.一种太阳能电池片的质量检测装置，其特征在于，所述检测装置包括OCT测量探头、 OCT集成系统以及计算机； 所述OCT测量探头与OCT集成系统相连，OCT测量探头包含自聚焦扫描透镜并采用硅片 不能吸收的近红外