中阶梯光栅光谱仪光学系统的安装及检测-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ３ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．３ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ３ Ｍａｒ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０３０５３１０６ 　 中阶梯光栅光谱仪光学系统的安装及检测 ， １２ １ ３ 李娜娜 ，安志勇 ，崔继承 （ 长春理工大学，吉林 长春 ； 中国科学院 光电研究院 北京 ； １． １３００２２２． １０００８０ ３．中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３） 摘要：为提高系统分辨率，保证成像质量，研究了中阶梯光栅光谱仪光学系统的安装及检测方法。通过对光学系统中狭 缝、准直镜、棱镜、中阶梯光栅及聚焦镜的准确安装，使之达到设计精度要求。介绍了中阶梯光栅光谱仪所特有的光学元 件的安装方法及保证精度的手段。最后，对光学系统的分辨率进行了检测，以瑞利判据为基础推导出分辨率的计算公 式，并实际测量得出中阶梯光栅光谱仪的分辨率已达到 １００００，满足了设计要求。提出的安装方法可为同类精密仪器的 安装和调试提供参考。 关 键 词：中阶梯光栅光谱仪；分辨率；光学系统 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ７４４．１ＴＨ７０３ Ａ 　　 犃犾犻狀犻狀 犪狀犱狋犲狊狋犻狀 狅犳狅狋犻犮犪犾狊狊狋犲犿狅犳犲犮犺犲犾犾犲狊犲犮狋狉狅狉犪犺 犵 犵 犵 狆 狔 狆 犵 狆狔 ， １２ １ ３ ， ， ＬＩＮａｎａ ＡＮＺｈｉｏｎ ＣＵＩＪｉｃｈｅｎ ｙ ｇ ｇ （ ， ， ； １．犆犺犪狀犮犺狌狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 犆犺犪狀犮犺狌狀１３００２２犆犺犻狀犪 犵 狔 犳 犵狔 犵 ， ， ， ； ２．犘犺狅狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犚犲狊犲犪狉犮犺犛犮犺狅狅犾犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅 犛犮犻犲狀犮犲狊犅犲犻犻狀