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纳秒脉冲在微细电解加工中的应用 学生：樊 曼 学号导师：汪希平 目录 微细电解加工原理、发展现状 影响微细电解加工精度的因素 纳秒脉冲在微细电解加工中的应用 结束语 参考文献 1.微细电解加工原理、发展现状 1.微细加工 在微细加工范围内 , 应用特殊方式加工得到高精度、微小尺寸零件的加工方法。 容易在工件材 料上产生热影 响层和热变形 区 电火花 和激光 加工 只适合加工硬 脆材料, 加工面 太窄效率又低 超声波 加工 需在真空中 进行, 设备成 本高 聚焦离 子束加 工 1.微细电解加工原理、发展现状 2.微细电解加工原理 微细电解加工（Electrochemical micromachining，简称EMM），是金属工件在电解液中发生阳极溶解的一种加工过程。 3.微细电解加工常用的电解质 电解液可分为中性盐溶液、酸性溶液、碱性溶液三大类。最常用的有NaCl、NaNO3、NaClO3等。当加工材料时，被加工材料接正极，工具电极接于负极。化学反应如下： 工件阳极： 工件阴极： 1.微细电解加工原理、发展现状 1.微细电解加工原理、发展现状 4.微细电解加工的特点 优点： 高的加工效率, 良好的成形精度, 容易对材料的去除进行控制, 适合加工的材料范围广, 不需考虑工件材料的强度、硬度等机械特性, 加工过程工具无磨损, 工件上不产生应力 缺点： 电化学反应的定域性较差。 电解液对设备有腐蚀作用，电解产物难以处理和回收，故应采取防护措施。 5.微细电解加工研究现状 1.微细电解加工原理、发展现状 1 Kozak和Rajurkai等研究了成型电极上不同形状特征电解加工的复制精度，并利用简单柱状电极的数控运动进行了成形加工，如图所示。加工间隙被控制在20μm。 2 清华大学的李勇教授等根据这种间隙控制的方法，利用侧壁绝缘Φ180μm的工具电极加工出Φ220μm，深300的微孔，侧面加工间隙控制在20μm。 3 南京航空航天大学的徐惠宇等针对微细电解加工的特点，设计研制了微细电解加工机床，利用专用夹具和专用阴极加工出了具有辐射状微细群缝结构的工业产品。 2.影响微细电解加工精度的因素 1.两个重要的精度指标 （1）定域性 定域性（Localization）是指加工区和非加工区材料去除量的比值，虽然电化学加工在原理上具有优势，但是由于电化学反应的杂散腐蚀现象，造成其加工的定域性较差。 （2）侧面间隙 工具电极直径与所加工槽的宽度之差是加工的侧面间隙，它可以作为加工精度的评价指标；因为侧面间隙越小，说明电化学反应的定域性越好，所加工零件的成形精度越高。 2.加工精度和稳定性 2.1脉冲宽度对加工的影响 2.影响微细电解加工精度的因素 随着脉冲宽度的减小，工具电极和工件之间的侧面间隙由15μm减小至7.5μm，加工精度越来越高。 2.2占空比对加工的影响 2.影响微细电解加工精度的因素 占空比为1：10时，微细电化学加工的定域蚀除能力较强，侧面加工间隙只有10μm左右，加工精度较高 2.3电压幅值对加工的影响 2.影响微细电解加工精度的因素 可看出4V电压加工时，加工区周围基本无杂散腐蚀，微槽的侧壁垂直度较好；电压幅值增大为5V后，微槽的周围开始出现杂散腐蚀，加工区的表面质量变差，定域蚀除能力降低，杂散腐蚀程度增加。 2.4电解液浓度对加工的影响 2.影响微细电解加工精度的因素 电解液浓度较低，槽宽越小，但电解液浓度过低，反应速率慢，降低了加工效率。 2.影响微细电解加工精度的因素 综合以上影响微细电解加工加工速度、精度、表面质量及加工效率的因素可知, 要使微细电解加工得以进行, 必须具备的条件有： 具备的条件 加工电压要低 加工电流要 小 电解液的 浓度要低 电解液的流动速度 和压力要低 脉冲电源的 脉宽尽量窄 工件材料的 金相组织要细微均匀 3.纳秒脉冲微细电解加工 1.纳秒脉冲实现微细电化学加工的作用及机理 由于电化学反应的杂散腐蚀现象，造成其加工的定域性较差。因此，要想实现微细电解加工，必须要解决好定域性的问题。 电极/溶液界面通电后的变化过程示意图 3.纳秒脉冲微细电解加工 电极暂态的加工模型 3.纳秒脉冲微细电解加工 （1）利用电解液的特性 存在钝化区的阳极极化曲线，它包括溶解区、过渡钝化区、稳定钝化区和超钝化区。利用钝化电解液的非线性特性，使加工区处于超钝化溶解，非加工区产生钝化反应基本不溶解。 3.纳秒脉冲微细电解加工 （2） 纳秒脉冲微细电化学加工提高加工定域性的根本原因就是：使加工区和非加工区的极化过电位产