检测技术作者卜云峰主编第三章节课案幻灯片.pptVIP

电容式传感器 　　　　　图4.19所示为电容式传感器及由其构成的力平衡式挠性加速度计。敏感加速度的质量组件由石英动极板及力发生器线圈组成；并由石英挠性梁弹性支承，其稳定性极高。固定于壳体的两个石英定极板与动极板构成差动结构；两极面均镀金属膜形成电极。由两组对称E形磁路与线圈构成的永磁动圈式力发生器，互为推挽结构，这大大提高了磁路的利用率和抗干扰性。　　工作时，质量组件敏感被测加速度，使电容传感器产生相应输出，经测量(伺服)电路转换成比例电流输入力发生器，使其产生一电磁力与质量组件的惯性力精确平衡，迫使质量组件随被加速的载体而运动；此时，流过力发生器的电流，即精确反映了被测加速度值。 　　　在这种加速度传感器中，传感器和力发生器的工作面均采用微气隙“压膜阻尼”，使它比通常的油阻尼具有更好的动态特性。典型的石英电容式挠性加速度传感器的量程为0～150m/s2，分辨力1×10-5m/s2，非线性误差和不重复性误差均不大于0.03%F.S.。4.4.3电容式力和压力传感器　　图4.20所示为大吨位电子吊秤用电容式称重传感器。扁环形弹性元件内腔上下平面上分别固连电容传感器的定极板和动极板。称重时，弹性元件受力变形，使动极板位移，导致传感器电容量变化，从而引起由该电容组成的振荡频率变化。频率信号经计数、编码，传输到显示部分。 ?  ?? 图4.20?电容式称重传感器 图4.21 电容式传感器1-动极板；2-定极板；3-绝缘材料；4-弹性体；5-极板支架 电容式传感器 　　　图4.21为一种典型的小型差动电容式压差动传感器结构。加有预张力的不锈钢膜片作为感压敏感元件，同时作为可变电容的活动极板。电容的两个固定极板是在玻璃基片上镀有金属层的球面极片。在压差作用下，膜片凹向压力小的一面，导致电容量发生变化。球面极片(图中被夸大)可以在压力过载时保护膜片，并改善性能。其灵敏度取决于初始间隙δ，δ越小，灵敏度越高。其动态响应主要取决于膜片的固有频率。这种传感器可与图4.15所示差动脉冲调宽电路相联构成测量系统。 电容式传感器 4.4电容式物位传感器 电容式物位传感器是利用被测介质面的变化引起电容变化的一种变介质型电容传感器。 　除上述应用外，电容式传感器还可用于转速测量与金属零件计数等。 产品. 电容式液位传感器（液位计/料位计） 3电容式传感器 电容式接近开关 振荡电路 被测物体 感应电极 被测电容 测量头构成电容器的一个极板，另一个极板是物体本身，当物体移向接近开关时，物体和接近开关的介电常数发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化.接近开关的检测物体，并不限于金属导体，也可以是绝缘的液体或粉状物体。 3 电容式传感器 3 电容式传感器 3 测量电路 a)电桥电路 3.3 电容式传感器 b) 谐振电路 3 电容式传感器 d) 运算放大器电路 3 电容式传感器 动手做： 观察你计算机上使用的麦克风，并用它测量你自己的声音，绘出频谱。 3.3 电容式传感器 电容式传感器 1.优点： Ⅰ.温度稳定性好 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 而电阻传感器有铜损等，易发热产生零漂。 第二节电容式传感器的性能及改善措施 2.1 特点 电容式传感器 Ⅱ.结构简单 电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。 Ⅲ.动态响应好 电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小（约几个10－5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆Hz的频率下工作，特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。 电容式传感器 Ⅳ.可以非接触测赖宁嘎，具有平均效应 例如 非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力高，能敏感0.01μm 甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。 电容式传感器 2.缺点 Ⅰ.输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受