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二维MEMS扫描镜MEMSMirror
上海昊量光电设备有限公司
二维 MEMS 扫描镜(MEMS Mirror)
微机电扫描镜, 又称 MEMS扫描镜，是通过电机驱动镜
面倾斜，从而对光束实现偏转控制的器件。相比扫描振镜
等常见的光束扫描器件，MEMS 扫描镜具有体积小、重量轻、
功耗低、对环境影响不敏感等特点，而且 MEMS 扫描镜可与
位置传感器集成使用，实现更高的定位精度。MEMS 扫描镜
的应用主要包括：投影显示、条码扫描、生物成像、激光
加工、激光雷达等领域。
这款无转向节二维 MEMS 扫描镜完全采用单晶硅材料制成。该二维 MEMS 扫描镜中不含有
任何移动的金属、塑料和线圈等部件，也没有易于发生故障的压电或电磁促动器，所以该二
维 MEMS 扫描镜具有很高的位置重复精度与可靠性。同时，这款二维 MEMS 扫描镜完全由免维
护的纯弹性材料(单晶硅)构成,并完全采用静电驱动方式，因此工作过程中没有电流。这款无
转向节二维 MEMS 扫描镜可实现大角度、超快二维光束扫描。二维扫描角度可达 32 度，并且
功耗极低，仅1mW。该二维 MEMS 扫描镜采用线性驱动方式和四象限可寻址静电梳驱动设计，
保证了很好的电压与角度的线性度。
主要特点：
模拟电压控制可实现任意角度偏转；
点到点光束扫描，驱动电压与扫描角度一一对应；
模块设计方便选择各种不同尺寸的镜面，以根据不同应用实现优化；
同时在 XY 两个方向实现高速扫描
动态模式扫描，XY 两个方向大角度扫描(e.g. -160 to 160)
Aunion Tech Co.,Ltd
Room 2802, F Building, Everbright Convention and Exhibition Center,
No. 86 Caobao road, Shanghai 200235 P.R. China
Tel: +86-21 Fax:+86-218009
E-Mail: info@ Website:
上海昊量光电设备有限公司
主要参数：
Integrated Mirror Devices Bonded Mirror Devices
镜面大小: 0.8mm, 1.2mm, 1.6mm, 20.mm and 镜面大小: 2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, and 5.0mm
2.4mm diameter always in stock diameter in stock, larger possible in special
orders.
点到点驱动模式最大倾斜角度: -6° to +6° 点到点驱动模式最大倾斜角度: -6° to +6°
mechanical each axis, varies with d
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