超精密位置感测与控制技术简介教案.ppt

超精密位置感測與控制技術簡介 華梵大學機電工程學系 基礎課程名稱：微製造工程導論 微/奈米光機電高科技學程 * 超精密定義 Source：精密工學會誌，2001.2. Vol.67 華梵大學機電工程學系 「精密」、「超精密」的定義 根據日本超精密定位專門委員會四年一度的問卷調查，現階段「精密」、「超精密」定位精度的分界線，似乎是在0.1(0.1微米)附近。另外，根據該委員會針對韓國、美國、歐洲各國的會議報告彙整後判斷，目前在超精密定位技術上，日本是居於領先地位。 * 超精密定位技術的應用 華梵大學機電工程學系 半導體製程 露光裝置微動台(Stepper)、LIGA、微致動器及微感測器製作 超精密加工機 進刀機構、超鏡面研磨加工，超應材料研磨、球面加工、非球面加工、凸面加工、半導體Wafer加工、光纖波導管 OA機器(Office automation) 硬碟機、DVD、雷射印表機(多面反射鏡、 感光滾筒) 掃描式探針式顯微鏡(SPM) 掃描式穿透電流顯微鏡(STM) : 導體表面原子構造觀察、超高精度尺寸量測 原子力間顯微鏡(AFM) : 非導體或導體表面精度量測、表面加工 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 * 精密定位的構成要素 華梵大學機電工程學系 致動器(Actuator) AC、DC伺服馬達，線性馬達(Linear Motor)，壓電致動器(Piezoelectric actuator)，油空壓驅動器，超磁歪元件等 機械導引滑道及傳動元件 高導程滾珠螺桿 – 與線性馬達相抗衡之元件；直線導引滑道 – 利用深溝滾珠軸承展開成線性滾珠導引滑道，利用樹脂保持器；靜壓直線導引滑道 – 空氣或油，但最近為提高導引滑道的剛性，有針對以水代替油之研究 控制方法 控制非線性摩擦因素對移動特性的影響(正逆向變換時的非線性彈簧特性)。主要手法包含：強健控制法：利用干擾觀測器預測推力的控制法、2自由度控制、Adaptive Control；完全追跡控制法；同時考慮定位控制與振動控制的最佳化控制法；PID控制法；智慧型控制器 位移感測器 接觸式；非接觸式 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 * 超精密感測器的分類 華梵大學機電工程學系 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 * 超精密定位與控制之應用範例 華梵大學機電工程學系 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 * 壓電效應的發現 華梵大學機電工程學系 壓電性 施應力於結晶 - 電氣分極 施電場於結晶 - 應變(逆壓電效應) 1880年居里兄弟 初期用途 測定Radium所放出的電荷(居里兄弟) 水深的量測(電波無法貫穿水面) 利用水晶之信號變換器 超音波裝置 音波濾波器 * 壓電元件於機械致動器之應用 華梵大學機電工程學系 壓電元件的特點 固體、體積小 能量轉換效率高 反應速度快 微小位移的可控制性 出力大 近期的應用領域 半導體製造裝置 信息產業相關裝置 掃描是穿隧電流顯微鏡(STM) 超音波馬達 彈性表面波裝置(SAW) 霧化器 感測器 … * 位移放大機構 - 1 華梵大學機電工程學系 1段式放大機構(槓桿原理) 2段式放大機構 Source：Zhenqi et al. “A Linear Piezoelectric Integrated by a Monolithic Flexural Frame”, Journal of Mechanical Design, Sep. 1997, Vol.119, pp 414-417 * 位移放大機構 - 2 華梵大學機電工程學系 差動型2段式放大機構 NEC點陣式印表機印字頭 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 * 位移放大機構 - 3 華梵大學機電工程學系 Inchworm 移動機構(Burleigh Instru. 1975專利) Source：國科會精密儀器發展中心， 超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 * 方向改變機構 Source：Zhenqi et al. “A Linear Piezoelectric Integrated by a Monolithic Flexural Frame”, Journal of Mechanical Design, Sep. 1997, Vol.119, pp 414-417 華梵大學機電工程學系 * 超精密 移動檯 Source：C