原子沉积技术研究-陈蓉-DZ-modified教学教材.pptVIP

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2018-04-02 发布于天津
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原子沉积技术研究-陈蓉-DZ-modified教学教材.ppt

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原子沉积技术研究;目录;目录;大规模集成电路不仅在对民用设备如电视机、计算机等的发展起到重要的作用，同时在军事、通讯、航空航天等高科技领域也得到广泛的应用。 2010年行业总产值达2378.6亿元，同比增长35.5%，GDP占有率增至0.6%。 21世纪随着新材料技术的发展，集成电路小型化的趋势致使各电子器件线宽的特征尺寸更加细微。在新型材料研究和纳米技术的引进下，精微尺寸控制、表面高覆盖率和高均匀一致性成为微纳器件制备研究的重要课题。; ;*;*;P.A. Packan, Science, 1999;ANML;原子沉积技术简介;ALD的工艺特点;ANML;选择添加工艺流程;*;*;ALD的工艺应用;ALD制备的薄膜 ;LAMD;其他纳米结构-纳米颗粒;目录;科学挑战;ANML;ANML;自主设计ALD设备;ANML;总结;Thank You !