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TFT-LCD用玻璃基板发展现状及趋势.doc

TFT-LCD用玻璃基板发展现状及趋势 全国性建材科技期刊——《玻璃》2006年第1期总第184期 TFT--LCD用玻璃基板发展现状及趋势 李超 (中国耀华玻璃集团秦皇岛市066000) 摘要阐述了薄膜晶体管型液晶显示器即TFT--LCD的性能和TFT--LCD用玻璃基板的发展现状,介绍了这 种玻璃基板的浮法,狭缝下拉法,溢流熔融法等几种生产方法,并展望了TFT--LCD玻璃基板的发展趋势和发 展方向. 关键词TFT--LCD玻璃基板发展 中圈分类号:TQ171文献标识码:A文章编号:1003—1987I2005)06—0015—04 随着科学技术的进步和信息技术的迅猛发展, 具有质量轻,图像细腻,清晰,色彩丰富,自然, 逼真等优点的薄膜晶体管型液晶显示器(即TFT — LCD)正逐渐取代传统的阴极射线管(CRT) 显示器,预计未来几年将成为显示器的主流产品. TFT—LCD是在无碱超薄玻璃上印刷微电子电路, 主要特点是在每个像素(像素就是一些能够发出彩 色光线的小点)配置一个半导体开关件,每个像素 都是一个相互隔离的独立的晶体管,可以通过点脉 冲直接控制,因而每个节点相对独立,并可连续控 制,这样不仅提高了反应时间(一般可以达到8O ms左右),同时在灰度控制上可以做到非常精确, 这就是TFT色彩更为逼真的原因. TFT—LCD是由偏光板,液晶面板,另外再 加上背光源组成的.制作一片液晶面板需要两片玻 璃基板,分别作为底层玻璃基板和彩色滤光片板使 用.虽然玻璃基板只占TFT—LCD原材料成本比 重的6左右,但却是晟最重要的元件.TFT— LCD生产线更新换代必须以玻璃基板厂家提供新 一 代生产线所生产的玻璃基板为前提,否则一切都 是空谈. 1TFT—LCD用玻璃基板的发展现状 玻璃基板又称素玻璃,是超薄,超平滑,超精 细无碱硅酸铝玻璃,其碱金属总含量要求在0.1 以下.自上个世纪9O年代TFT—LCD产业由Et本 第一代产品的生产,发展到目前康宁公司正在研制 的第七代产品所使用玻璃基板已经历了7代.玻璃 基板的切割片数有一个最佳经济值,达到这个值以 上意味着较高的生产效率,业界公认的经济切割片 数是6,按照玻璃基板尺寸的大小划分生产线属于 哪一代(见表1). 裹1/ram 目前在商业上应用的玻璃基板,主要厚度为 0.7mm或0.6mm,并且已经进入更薄厚度(如 0.4mm)的研制开发阶段.主要应用于液晶桌面 显示器,笔记本电脑以及液晶彩电的面板制作中. 由于TFT—LCD模组在制造过程中需要真空 蒸镀与刻蚀,因此玻璃基板必须耐高温,耐强酸强 碱;同时考虑重量和厚度,玻璃基板必须非常薄, 尤其对应大尺寸后,玻璃基板如果过厚,就会增加 不少重量;玻璃基板要求高透光性,否则影响画面 质量,所以必须要在无尘室中生产;玻璃基板还要 高平整度,其平整度要求比硅晶圆还要高.鉴于玻 璃基板生产技术的高度复杂与高深,全世界只有4 】5 全国性建材科技期刊——《玻璃》2006年第1期总第184期 家公司能够制造玻璃基板,分别是美国康宁,日本 旭硝子,日本电气硝子和日本板硝子.据初步统 计,截止2004年底全球TFT—LCD用玻璃基板生 产能力达6050万m./年.其中康宁共有23座 TFT—LCD用玻璃基板熔炉,生产能力可达315O 万m/年;日本旭硝子共有4座熔炉,生产能力可 达1400万m/年;日本板硝子共有6座熔炉,生 产能力为900万m/年;日本电气硝子共有5座熔 炉,生产能力为600万m/年. 目前,我国大陆还没有厂家能生产TFT— LCD用玻璃基板,所用玻璃基板全部依赖于进口. 据报载,2003年7月,山东力诺集团与德国EPT 公司合作开发生产TFT—LCD用玻璃基板.如果 合作成功,将结束我国玻璃基板全部依赖进口的局 面,有利于完善我国液晶显示器行业的产业链,实 现LCD上游原材料(玻璃基板)的国产化,推动 中国显示器产业的发展.2003年5月有报道称, 广东汕头金刚玻璃科技股份有限公司,研发TFT 无碱玻璃基板取得成功,并已申报国家发明专利. 但只是完成实验室研制,距离工业化生产还有很远 的路要走.此外,2004年12月23日上海广电集 团(SVA)与日本NEC表示,双方将成立一家合 资公司生产液晶显示器用玻璃基板,总投资为 1146亿日元(约11亿美元),于2005年lO月建 成投产,月产玻璃基板4.5万片,这将成为我国首 家玻璃基板生产厂. 2Tn一LCD用玻璃基板的生产方法 到目前为止,生产平面显示器用玻璃基板主要 有三种技术,分别为浮法(FloatTechnology), 狭缝下引法(SlotDownDraw)及溢流熔融法 (OverflowFusionTechnology).(对比表见表2) 2.】浮法 浮法是目前最

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