扫描电子显微镜sem53505.pptVIP

  2) 直进式波谱仪 特点是X射线出射角φ固定不变,弥补了旋转式波谱仪的缺点。因此，虽然在结构上比较复杂，但它是目前最常用的一种谱仪。 分光晶体从点光源S向外沿着一直线运动并通过转动改变?角，探测器也随着运动 聚焦圆半径不变，圆心在以光源S为中心，R为半径的圆周上运动 光源、分光晶体和接收狭缝也都始终落在聚焦圆的圆周上 直进式波谱仪 由光源至晶体的距离L(叫做谱仪长度)与聚焦圆的半径有下列关系： L=2Rsinθ=Rλ/d  即对于给定的分光晶体，L与λ存在着简单的线性关系。 L由小变大意味着被检测的X射线波长?由短变长，改变L就能检测到不同波长，即不同元素的X射线。 只要读出谱仪上的L值，就可直接得到λ值。 直进式波谱仪 2．分辨率（resolution） 样品原子序数愈大，电子束进入样品表面的横向扩展愈大，分辨率愈低。 电子束射入重元素样品中时，作用体积不呈梨状，而是半球状。电子束进入表面后立即向横向扩展。即使电子束束斑很细小，也不能达到较高的分辨率，此时二次电子的分辨率和背散射电子的分辨率之间的差距明显变小。 电子束的束斑大小、调制信号的类型以及检测部位的原子序数是扫描电子显微镜分辨率的三大因素。 此外，影响分辨率的因素还有信噪比、杂散电磁场、机械振动等。 噪音干扰造成图像模糊；磁场的存在改变了二次电子运动轨迹，降低图像质量；机械振动引起电子束斑漂移，这些因素的影响都降低了图像分辨率。 3．景深（depth of field / depth of focus） 景深是指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。 扫描电子显微镜的景深取决于分辨本领和电子束入射半角? 电子束入射半角是控制景深的主要因素，它取决于末级透镜的光阑直径和工作距离。扫描电子显微镜?角很小（约10-3 rad），所以景深很大。 扫描电镜以景深大而著名。它比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电子显微镜的景深大10倍。 景深的依赖关系 3．景深（depth of field / depth of focus） SEM像衬度 SEM像衬度的形成主要基于样品微区诸如表面形貌、原子序数、晶体结构、表面电场和磁场等方面存在着差异。 入射电子与之相互作用，产生各种特征信号，其强度就存在着差异，最后反映到显像管荧光屏上的图像就有一定的衬度. 表面形貌衬度 原子序数衬度 3.4 表面形貌衬度原理及其应用 表面形貌衬度是由于试样表面形貌差别而形成的衬度。利用对试样表面形貌变化敏感的物理信号作为显像管的调制信号，可以得到形貌衬度图像。 形貌衬度的形成是由于某些信号，如二次电子、背散射电子等，其强度是试样表面倾角的函数，而试样表面微区形貌差别实际上就是各微区表面相对于入射电子束的倾角不同，因此电子束在试样上扫描时任何两点的形貌差别，表现为信号强度的差别，从而在图像中形成显示形貌的衬度。 表面形貌衬度 二次电子像的衬度是最典型的形貌衬度。 由于二次电子信号主要来自样品表层5-l0 nm深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，而仅对微区刻面相对于入射电子束的位向十分敏感，且二次电子像分辨率比较高，所以特别适用于显示形貌衬度。 若设α为入射电子束与试样表面法线之间的夹角，实验证明，当对光滑试样表面、入射电子束能量大于1kV且固定不变时，二次电子产率δ与α的关系为 δ ∝ 1/cosα 二次电子产率δ与电子束入射角度的关系 入射电子束与试样表面法线间夹角愈大，二次电子产额愈大 　形貌衬度原理 α越大，δ越高，反映到显像管荧光屏上就越亮。 以右图样品上A区和B区为例，A区中由于α大，发射的二次电子多，而B区由于α小，发射的二次电子少。 所以A区的信号强度较B区的信号大，故在图像上A区也较B区亮。 实际样品表面的形貌要复杂得多，但形成二次电子像衬度的原理是相同的． 实际样品可以被看作是由许多位向不同的小平面组成的。入射电子束的方向是固定的，但由于试样表面凹凸不平，因此它对试样表面不同处的入射角也是不同的。因而在荧光屏上反映出不同的衬度。 突出的尖棱、小粒子、比较陡的斜面处的图像亮度较大； 平面的亮度较低； 深的凹槽底部虽然能产生较多的二次电子，但不易被检测器收集到，因此槽底的衬度较暗。 在电子收集器的栅网上加上+250V的偏压，可以使低能二次电子走弯曲轨道到达电子收集器，这不仅增大了有效收集立体角，提高了二次电子信号强度，而且使得背向收集器的那些区域产生的二次电子，仍有相当一部分可以通过弯曲的轨道到达收集器，有利于显示背向收集器的样品区域细节，而不致于形成阴