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扫描隧道显微镜 物理与电子科学学院 仲明礼 一、引言 ?? 一、显微镜的发展史?????????????? 人的眼睛不能直接观察到比0.1mm更小的物体或物质的结构细节。人要想看得到更小的物质结构，就必须利用工具，这种工具就是显微镜。 第一代显微镜：光学显微镜，极限分辨率是200纳米。由于光的衍射效应，分辨率受制于半波长，可见光的最短波长为0.4微米。????????????? 第二代显微镜：电子显微镜。 1924年，德布罗意提出了微观粒子具有波粒二象性的假设，后来这种假设得到了实验证实。 物理学家们利用电子在磁场中的运动与光线在介质中的传播相似的性质，于1933年发明了电子显微镜。TEM的点分辨率为0.2~0.5nm，晶格分辨率为0.1~0.2nm，它的工作环境都要求高真空，并且使用成本很高，在一定程度上限制了电子显微镜的发展。 80年代初期，IBM公司苏黎世实验室的G.Binning （宾尼格）和H.Rohrer（罗勒）发明了扫描隧道显微镜，它的分辨率达到0.01纳米。STM的诞生，使人类第一次在真实空间观测到了原子，并能够在超高真空超低温的状态下操纵原子。因为这两项重大的意义，这两位科学家荣获了1986年的诺贝尔物理奖。 在STM的基础上，又发明了原子力显微镜、磁力显微镜、近场光学显微镜等等，这些显微镜都统称扫描探针显微镜。 扫描隧道显微镜检测的是隧道电流，原子力显微镜镜测试的是原子间相互作用力等等。?????? 二、扫描探针显微镜（STM）原理及设计思路 1、STM的产生????????? STM的工作原理是基于量子力学中的隧道效应。对于经典物理学来说，当一个粒子的动能低于前方势垒的高度时，他不可能越过此势垒，即透射系数等于零，粒子将完全被弹回。而按照量子力学的计算，在一般情况下，其透射系数不等于零，也就是说，粒子可以穿过比它能量更高的势垒，这个现象称为隧道效应。隧道效应是由于粒子的波动性而引起的，只有在一定的条件下，隧道效应才会显著。 扫描隧道显微镜是将原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近 (通常小于? 1nm) 时，在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极。由于隧道电流(纳安级)随距离而剧烈变化，让针尖? 在同一高度扫描材料表面，表面那些“凸凹不平”的原子所造成的电流变化，通过计算机处理，便能在显示屏上看到材料表面三维的原子结构图。STM具有空前的高分辨率(横向可达0.1nm，纵向可达0.01nm),它能直接观察到物质表面的原子结构图，从而把人们带到了纳观世界。 ???????????? ?????? ??????????????????? STM中针尖对样品作两维扫描?????????????? 2、STM恒高模式的产生和局限性 2.1 恒高模式???????? 当针尖扫描样品表面时，记录每点的隧道电流值，针尖以一个恒定的高度在样品表面快速地扫描，检测的是隧道电流经过处理后得到图像。　 3、STM恒流模式的产生 3.1 恒流模式 针尖在样品表面扫描时，通过反馈电压不断地调解扫描针尖在竖直方向的位置以保证隧道电流恒定在某一预先设定值，既隧道电流保持恒定。对于电子性质均一的表面，电流恒定实质上意味着恒定针尖和样品的距离，因此通过记录针尖在表面的X-Y方向扫描时的反馈电压可以得到表面的高度轮廓，从而获得样品表面形貌特征。经过计算机的记录和自动计算处理，样品表面的高度将被精确测定。 3.2 恒流模式的电子实现 3.3 恒流模式的三个重要参数：扫描速度、反馈速度、设定点 3.3.1 反馈的提出和应用???????????? ??? 由于运用了反馈技术，使得针尖能够良好地跟踪样品表面，突破了恒高模式的局限。 3.3.2 扫描速度、反馈速度、设定点三者之间的关系????????????? ? 扫描速度：在可以接受的速度下，尽可能让扫描速度慢一些（值越大速度越慢）。 在可以接受的图像质量下，尽可能让扫描速度快一些。 扫描速度过快，来不及反馈，就有可能出现撞针现象；扫描速度过慢，一方面等的时间太长难以承受，另一方面由于漂移现象的存在使针尖漂离开工作区，从而得不到样品表面图像。 漂移产生原因：应力漂移和热漂移 漂移的时间效应：漂移始终存在，扫描时间长一些，会逐渐趋于稳定?。??? 反馈速度：反馈速度过慢，反馈跟不上，使针尖不能很好的跟踪样品表面形貌的变化。反馈速度过快，针尖上下起伏太快容易引起震荡，从而使样品形貌失真。???????????????? 震荡产生的原因：由于反馈的滞后性而产生，只要反馈存在就存在。?????????????? 设定点：? 设定点值过大，针尖距离样品非常近，容易出现撞针事故设定点值过小，针尖距离样品太远，针尖和样品之间的