第10章波动光学1005薄膜干涉(526KB).pptVIP

一、劈形膜 S M 劈尖角 明纹 暗纹 干涉条件为 1 在劈形膜棱边处 ,e=0 因而形成暗纹。 2 相邻两条明纹(或暗纹)在劈形膜表面的距离。 L 讨论 3、干涉条纹的移动 每一条纹对应劈尖内的一个厚度，当此厚度位置改变时，对应的条纹随之移动。 空气的折射率 1）用劈形膜干涉测量薄片厚度 应用： 2)比较两个块规 空气的折射率 A S 3）检验光学元件表面的平整度 二、牛顿环 牛顿环干涉图样 显微镜 S L M半透半反镜 T 光程差 明纹 暗纹 R r e 暗环半径 明环半径 1)利用牛顿环检查透镜质量 应用： L G 样板 待测凸透镜 光圈的圈数越多，说明透镜与样板的差异越大；光圈的圈数越少，说明透镜与样板的差异越小。 2）在实验室中，常用牛顿环测定光波的波长或凸透镜的曲率。 三、单层增透膜 由于反射光干涉相消，所以透射光增强，这样的膜称为单层增透膜。 光程差为 例10-1 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，如图所示。已知SiO2的折射率n =1.46，用波长 的钠光照射后，观察到SiO2劈尖上出现9道暗纹,且第9道在劈尖斜坡的上端点M，硅的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 M 已知： 求： 解： 由于