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4.5 固态压阻式传感器 4.5.1 压阻式传感器的结构与工作原理 用集成电路工艺技术，在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻，组成电桥。当不受力时，电桥无电压输出；受力时，电桥失去平衡，输出与应力成正比的电压。 压阻式传感器的工作原理是基于半导体材料的压阻效应：当半导体（单晶硅）材料某一轴向受外力作用时，其电阻率会发生变化。 4.5.2? 压阻系数 对半导体材料 对金属材料 电阻相对变化量 1. 压阻系数的定义 半导体电阻的相对变化近似等于电阻率的相对变化，而电阻率的相对变化与应力成正比，二者的比例系数定义为压阻系数。 压阻系数为: 影响压阻系数因素：扩散电阻的表面杂质浓度和温度。扩散杂质 浓度NS增加时， 压阻系数就会减 小。压阻系数与 扩散电阻表面杂 质浓度NS的关系 如图。 2. 影响压阻系数的因素? 120 140 100 80 60 40 20 1018 1019 1020 1021 表面杂质浓度NS (cm-3) P型Si(πl) N型Si(-πl) ? πl(×10-11m2/N) T=24℃ 压阻系数与表面杂质浓度NS的关系  1—N-Si膜片 2—P-Si导电层 3—粘贴剂 4—硅底座 5—引压管 6—Si 保护膜 7—引线? 4.5.3 固态压阻器件 利用固体扩散技术，将P型杂质扩散到一片N型硅底层上，形成一层极薄的导电P型层，再装上引线接点。若在圆形硅膜片上扩散出四个P型电阻，构成惠斯登电桥的四个臂，这样的敏感器件通常称为固态压阻器件。 1 2 3 4 5 6 7 4.6 应变式传感器应用举例 4.6.1 力（荷重）传感器 例4-1. 柱式力传感器 图4-19 柱式力传感器 F F 面积S -ε1 +ε2 -ε2 +ε1 截面积S F (a)实心圆柱 (b)空心圆柱 F 轴向布置一个或几个应变片，在圆周方向布置同样数目的应变片，后者取符号相反的应变，以构成差动对。由于应变片沿圆周方向分布，所以非轴向载荷分量被补偿。 由材料力学知识，在弹性限度内: 杨氏模量 面积 三式联立解得: 故 令 则: 弹性元件上应变片的粘贴和电桥连接，应尽可能消除偏心和弯矩的影响，一般将应变片对称地贴在应力均匀的圆柱表面中部，构成差动对,且处于对臂位置，以减小弯矩的影响 。横向粘贴的应变片具有温度补偿作用。 u0 U0 R1 R3 R5 R7 R6 R8 R2 R4 R6 R7 R8 R2 R3 R4 R5 图4-20 柱式力传感器应变片的粘贴与桥路连接 R1 a 圆柱面展开图 b 桥路连接 例4-2 梁式力传感器 (1) 等强度梁 (a) 等强度悬臂梁 F R4 R1 F h R1、R4 l R2、R3 一端固定，一端自由，厚度为h,长度l，固定端宽度为b0,力F 作用在三角形顶点。其表面应变为 ： 4只应变片 此位置上下两侧分别粘有4只应变片，R1、R4同侧；R3 、R2同侧，这两侧的应变方向刚好相反，且大小相等，可构成全差动电桥。 由于是全差动电桥，应有： 所以： 供桥电压 输出电压 杨氏模量 (2) 等截面梁 F R1、R4 R2、R3 h l (b) 等截面悬臂梁 R1 R4 b 4只应变片 一端固定，一端自由，厚度为h,宽度为b,悬臂外端到应变片中心的距离 为l。其应变为 ： F R1、R4 R2、R3 h l/2 l/2 (c) 双端固定梁 R1 R4 b 4只应变片 (3) 固定梁 悬臂梁是一端固定、一端自由的弹性敏感元件。它的特点是灵敏度比较高。所以多用于较小力的测量。例如，民用电子称中就多采用悬臂梁。当力F（例如苹果的重力）以垂直方向作用于电子秤中的铝质悬臂梁的末端时，梁的上表面产生拉应变，下表面产生压应变，上下表面的应变大小相等符号相反。粘贴在上下表面的应变片也随之拉伸和缩短。得到正负相间的电阻值的变化，接入桥路后，就能产生输出电压。 双弯曲梁为传感器弹性体，四片应变片分别粘贴在梁的上、下两表面上，组成全桥电路。当载荷F作用时，R1、R2受拉伸，阻值增加； R3、R4受压缩，阻值减小。电桥失去平衡，产生电压输出。 （4） 双弯曲梁 图4-22 双弯曲梁 R4 R3 R2 R1 F 若梁的厚度为h，宽度为b，梁端到梁中心的距离为d，梁端到应变片的距离为δ，应变片的基长为a，材料的弹性模量为E，当载荷F作用时，双弯曲梁的应变为 电桥输出电压为 ： S型拉压传感器 悬臂梁式传感器 铝合金传感器 桥式传感器 设一频率为 f、波长为λ的正弦应变波在构件中以速度v沿应变片轴向传播，应变片栅长为l，应变片两端点的坐标是x