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现代制造技术 精密加工和超精密加工 §3.1 概述 精密加工是指加工精度和表面质量达到很高程度的精密加工工艺。超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺。随着加工技术的发展，超精密加工的技术指标也在不断变化。 一般加工：精度10μm左右，Ra0.3～0.8μm； 精密加工：精度10—0.1μm左右，Ra0.3—0.03μm； 超精密加工：精度0.1—0.01μm左右，Ra0.03—0.05μm； 纳米加工：精度高于0.001μm，Ra小于0.005μm 。 加工单位（尺寸）：要去除的材料的大小 微米工艺 纳米工艺 超精密加工的主要高新技术 1）超精密加工机床与工装、夹具； 2）超精密切削刀具，刀具材料； 3）超精密加工工艺； 4）超精密加工环境控制(包括恒温、隔振、洁净控制等)； 5）超精密加工的测控技术。 超精密加工机床是超精密加工水平的标志，它应满足以下一些要求： 1）高精度； 2）高刚度； 3）高稳定性； 4）高自动化。 精密检测是超精密加工的必要手段，误差补偿是提高加工精度的有效措施。关键技术主要有： 1）几何尺寸的纳米级测量； 2）表面质量检测技术及其测量仪器的研究； 3）测量集成技术的研究； 4）空间误差补偿技术的研究。 超精密加工的工作环境是达到其加工质量的必要条件，主要有温度、湿度、净化和防振等方面的要求。 1）环境温度可根据加工要求控制在±(1～0.02)℃，甚至达到±0.0005℃； 2）在恒温室内，一般湿度应保持在55%～60%； 3）通常洁净度要求l0000级至l00级； 4）超精密加工设备要安放在带防振沟和隔振器的防振地基上，并可使用空气弹簧(垫)来隔离低频振动。 精密、超精密加工的工艺特点 以精密元件为加工对象，并与之密切结合发展 保证很高的精度、表面质量、稳定性和保持性 精密的测量手段 与自动化密切相关 易于采用复合加工技术 §3.2 精密、超精密加工方法 §3.2.1 精密切削加工 刀具：立方氮化硼、人造金刚石、单晶金刚石 立方氮化硼： 切割难加工的黑色金属，耐1400℃高温 人造金刚石： 耐用度、耐磨性、寿命均有提高 单晶金刚石：软金属材料的切削 金刚石刀具的加工精度 聚晶金刚石 （硬质合金） 单晶金刚石 超精密切削机理 切削厚度很小（微米数量级），甚至在晶粒内部切削，因此切削力必须大于原子结合力，并且产生很大的热量，同时刀具受到很大的剪切力。 影响金刚石精密切削的因素 刀具的刃磨质量---研磨 金刚石刀具的几何角度和对刀 被加工材料的均匀性和微观缺陷 工作环境 加工设备 §3.2.2 精密磨削加工 磨削尺寸公差小于10微米 精密磨削表面粗糙度值小于0.1微米 发展趋势：超硬磨料磨削 CBN砂轮的特点： 不易磨损保持被磨零件尺寸的一致性 磨削高速钢和轴承刚时，被加工材料耐磨性提高20%~40%。 精密磨削的加工原理 砂轮工作面上整修出大量等高的磨粒微刃，从工件表面上切除极微薄的，尚具有一些微量缺陷的微量形状、尺寸误差的余量。 影响精密磨削表面粗糙度的因素 机床 主轴径向圆跳动误差小于0.001毫米 滑动轴承间隙在0.01~0.015毫米之间 径向进给机构灵敏度及重复精度要高 工作台低速平稳性要求高 砂轮 微刃切削---Ra值0.16~0.04微米 半钝化微刃摩擦--- Ra值0.04~0.01微米 磨削用量 进给量范围：0.0025~0.005毫米 镜面磨削：0.0025毫米左右 无进给光磨，次数越多光磨效果越好 加工工艺 工件磨削之前修研中心孔，保证接触面足够大 仔细修整砂轮，做好砂轮的静平衡 磨削前要进行空转，使机床各项性能处于稳定状态，然后才能研磨加工。 严格控制径向进给，刻度不准安装千分表 冷却液严格过滤 §3.2.3珩磨、超精研、研磨和超精密磨料加工 珩磨 珩磨工作原理： 通过珩磨工具，对工件表面施加一定的压力，同时珩磨工具做相对旋转和直线往复运动，切除工件上的极小的余量。 珩磨加工后的工件圆度和圆柱度0.003~0.005㎜，尺寸精度达到IT6~ IT5，表面粗糙度Ra值为0.2~0.025μm 珩磨主要工艺参数的选择 1）油石的选择： 钢件---刚玉 铸铁、不锈钢有色金属---碳化硅 粒度与表面粗糙度 油石的工作行程和越程量 油石的数量 珩磨主要工艺参数的选择 2）珩磨切削参数的选择： 网纹交叉角 ，其值越大，切削效率越高，表面粗糙度值变大。 油石的工作压力，压力越大，加工精度越低，不同的材料工作压力不同。 珩磨加工余量 珩磨切削液---降低表面粗糙度 珩磨孔尺寸的自动控制 超精研 超精研工作原理： 在良好的润滑冷却和较低的压力条件下，用细粒度油石以快而短促的往复振动频率，对低速旋转的工件进行光整加工。