12声表面波传感器_现代传感技术.pptVIP

2.压电陶瓷振子的等效电阻R1≠0的情况 12.6 压电陶瓷振子的导纳和阻抗特性 12.6 压电陶瓷振子的导纳和阻抗特性 12.6 压电陶瓷振子的导纳和阻抗特性 12.6 压电陶瓷振子的导纳和阻抗特性 12.6 压电陶瓷振子的导纳和阻抗特性 现代传感技术 第12章 超声传感器及声表面波传感器 12.1 概述 12.2 压电材料的重要参数 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 12.4 压电陶瓷的谐振特性 12.5 压电陶瓷振子的动态特性及其集中参数等效电路 12.6 压电陶瓷振子的导纳和阻抗特性 12.1 概述 受到压力作用时会在两端面间出现电压的晶体材料。把重物放在石英晶体上，某些表面会产生电荷，电荷量与压力成比例。这一现象被称为压电效应。这种材料还具有逆压电效应，即在外电场作用下压电体会产生形变。 压电效应机理：具有压电性的晶体对称性较低，当受到外力作用发生形变时，晶胞中正负离子的相对位移使正负电荷中心不再重合，导致晶体发生宏观极化，而晶体表面电荷面密度等于极化强度在表面法向上的投影，所以压电材料受压力作用形变时两端面会出现异号电荷。反之，压电材料在电场中发生极化时，会因电荷中心的位移导致材料变形。 　　利用压电材料的这些特性可实现机械振动（声波）和交流电的互相转换。因而压电材料广泛用于传感器元件中，例如地震传感器，力、速度和加速度的测量元件以及电声传感器等。 12.1 概述 如果压力是一种高频震动，则产生的就是高频电流。而高频电信号加在压电陶瓷上时，则产生高频声信号（机械震动），这就是我们平常所说的超声波信号。也就是说，压电陶瓷具有机械能与电能之间的转换和逆转换的功能。 材料分类---无机压电材料 　分为压电晶体和压电陶瓷，压电晶体一般是指压电单晶体；压电陶瓷则泛指压电多晶体。压电陶瓷是指用必要成份的原料进行混合、成型、高温烧结，由粉粒之间的固相反应和烧结过程而获得的微细晶粒无规则集合而成的多晶体。具有压电性的陶瓷称压电陶瓷，实际上也是铁电陶瓷。在这种陶瓷的晶粒之中存在铁电畴，铁电畴由自发极化方向反向平行的180 畴和自发极化方向互相垂直的90畴组成，这些电畴在人工极化（施加强直流电场）条件下，自发极化依外电场方向充分排列并在撤消外电场后保持剩余极化强度，因此具有宏观压电性。如：钛酸钡BT、锆钛酸铅PZT、改性锆钛酸铅、偏铌酸铅、铌酸铅钡锂PBLN、改性钛酸铅PT等。这类材料的研制成功，促进了声换能器，压电传感器的各种压电器件性能的改善和提高。 材料分类---无机压电材料 　　压电晶体一般指压电单晶体，是指按晶体空间点阵长程有序生长而成的晶体。这种晶体结构无对称中心，因此具有压电性。如水晶（石英晶体）、镓酸锂、锗酸锂、锗酸钛以及铁晶体管铌酸锂、钽酸锂等。 　　相比较而言，压电陶瓷压电性强、介电常数高、可以加工成任意形状，但机械品质因子较低、电损耗较大、稳定性差，因而适合于大功率换能器和宽带滤波器等应用，但对高频、高稳定应用不理想。石英等压电单晶压电性弱，介电常数很低，受切型限制存在尺寸局限，但稳定性很高，机械品质因子高，多用来作标准频率控制的振子、高选择性（多属高频狭带通）的滤波器以及高频、高温超声换能器等。近来由于铌镁酸铅Pb单晶体性能特异，国内外都开始这种材料的研究。 材料分类---有机压电材料 　　又称压电聚合物，如偏聚氟乙烯（PVDF）（薄膜）及其它为代表的其他有机压电（薄膜）材料。这类材料及其材质柔韧，低密度，低阻抗和高压电电压常数(g)等优点为世人瞩目，且发展十分迅速，现在水声超声测量，压力传感，引燃引爆等方面获得应用。不足之处是压电应变常数（d）偏低，使之作为有源发射换能器受到很大的限制。 材料分类---压电复合材料 12.2 压电材料的重要参数 1.机电耦合系数 2.机械品质因数和机械损耗因子 2.机械品质因数和机械损耗因子 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 1.压电振子的振动模式概述 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 1.压电振子的振动模式概述 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 2.压电陶瓷薄长条的长度伸缩振动模式 2.压电陶瓷薄长条的长度伸缩振动模式 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 3.压电陶瓷薄圆片的径向振动模式 3.压电陶瓷薄圆片的径向振动模式 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 4.压电陶瓷薄圆片的厚度振动模式 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 5.压电陶瓷振子的厚度剪切振动模式 5.压电陶瓷振子的厚度剪切振动模式 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 6.压电陶瓷振子的弯曲振动模式 6.压电陶瓷振子的弯曲振动模式 12.3 压电陶瓷振子的振动模式 7.压电振子的能陷振动模式 7.压电振子的能陷振动模式 12.4 压电陶瓷振子的谐振特性 12.4 压电陶瓷振子的谐振特